解决微标志和纳米光学的纳米印刷的挑战

纳米印刷光刻[1] [2] [3]是一种用于一系列应用的验证生产技术，从创建微粒[4]到其在生产垂直腔表面发射激光器（VCSELS）中的使用中[5]。

在大多数这些应用程序中，纳米印刷以晶圆量表执行。在较大区域的早期，已经提出了基于辊子的纳米印刷品[6]。基于卷到滚动的纳米膜[7] [8] [9]经历了几个发展，在使用刚性基板的卷到板的情况下，少得多的精制。

为了解决不透明和刚性底物对大面积纳米板的局限性，Stensborg目前正在组织和研究基于紫外线的卷到板纳米膜工具。

它是根据[10]的概念建立的，包括基板翻译阶段和透明辊。半透明的印刷板或邮票可以连接到滚筒上。

紫外线的来源是在此辊子中发现的。紫外线的水冷范围会发出针对nip的光线，这是基板和滚筒相遇的位置。

该设备的生产是为了管理厚度高达10毫米的底物，尺寸为30 x 60cm²。打印速度的速度可以从每分钟1 m到每分钟10 m。

该工具尚未完全完整，因为仍然必须安装插槽模具涂料和喷墨打印设备，以特别包括大面积的涂料能力。app亚博体育

Stensborg已经执行了初始打印测试。将玻璃板固定在花岗岩基材桌上，以进行这些研究。将聚合物箔放在玻璃板的顶部，并覆盖有紫外线策略的烙印材料。

具有广泛尺寸的特征成功地复制了。图1显示了微光学测试结构的线扫描，而图2显示了测试总体的线扫描。

图1。卷到板印迹的微观光学测试结构的线班扫描（科技表），特征高约45 µm，周期约为100 µm。图片来源：Stensborg

图2。线到板块印迹全息测试结构的线扫（AFM），特征高约350 nm，周期约为880 nm。图片来源：Stensborg

特征的周期以及高度随多个数量级而变化。图3显示标准印刷全息图结构。在图4中，可以观察到整个UV印刷板（包括打印板）的设备图像。

图3。全息图测试模式的光学显微照片对应于图2。图片来源：Stensborg

图4。滚筒的照片在印刷板上安装在滚筒上的印刷板。图片来源：Stensborg

由于评估了材料组合，分离非常简单。箔完全不需要安装在玻璃板上以在印刷后实现有效的自动分离。

使用了由紫外线策划的PDM或紫外线策划的树脂材料以及Stensborg的X29印迹抗性产生的印刷板。在两种组合中都立即分离，因此箔从印刷板中隔离。

斯滕斯堡will publish additional printing results with a greater range of micro- and nanoscale characteristics, and additionally the initial results of large area coating of UV-curable materials.

作者要感谢Rollernil和Epaper项目的资金（由奥地利研究促进局FFG资助）。

致谢

由最初由L. yde撰写的材亚博网站下载料生产¹，L。Lindvold¹，J。Stensborg¹，T。Voglhuber²，H。außerhuber²，S。Wögerer²，T。Fischinger²，穆尔伯格²和W. Hackl³来自Stensborg¹，Profactor GmbH²和Forster Verkehr-和werbetechnik GmbH³。

参考和进一步阅读

[1] Chou，S.Y。等，J Vac Sci Technol B 14（1996）4129。
[2] Haisma，J。等。J Vac Sci Technol B 14（1996），4124。
[3] Schift，H.，J Vac Sci Technol B26（2008）458。
[4]例如赫普塔贡，http://hptg.com（上次访问4.4.2016）
[5] M.A. Verschuuren，在NNT2011上发表
[6] Tan，H。等人。J Vac Sci Technol B 16（1998）3926。
[7] Thesen，M.W。等。Microel Eng 123（2014）121。
[8] Ahn，S.H.等，高级材料20（2008）2044。亚博网站下载
[9] John，J。等，纳米技术24（2013）505307。
[10] Lindvold，L.，Stensborg，J.，Rassmussen，T.，EP 1150843 B2。

此信息已从Stensborg提供的材料中采购，审查和改编。亚博网站下载

有关此消息来源的更多信息，请访问斯滕斯堡。