基于GAAs的VCSELS中MESAS的高产制造

由牛津仪器等离子体技术2019年12月19日

目前光学互连，激光雷达技术或面部识别的需求正在推动VCSEL行业的增长更快。VCSEL制造在世界各地迅速扩大，VCSEL制造过程必须达到更高的产量和质量。应用，如3D感测，专注于具有VCSEL阵列的最大功率转换，用于更高的组合输出功率。在阵列内，阈值电流和差分量子效率必须从激光到激光均匀。这需要对外延的非常良好的控制，但也非常良好地控制MESA的形状。由于对更密集阵列的需求增加，均匀性，线宽和宽高比的挑战出现。

基于GAAs的VCSELS中MESAS的高产制造

凭借强大的工艺专业知识和广泛的设备理解，牛津仪器等离子技术开发了先进的等离子处理解决方案，以提供VCSEL市场所要求的设备性能和产量。在这篇白皮书中，我们专注于如何最好地控制台面的几何尺寸为150mm的晶圆片。我们回顾了实现锥形或垂直轮廓与台面深度的精确控制的关键要求。

VCSEL结构的主要制造步骤

VCSEL结构的简单性允许以非常有效的成本进行高卷制造。与边缘发射激光器相比，可以通过晶片和较大的晶片尺寸制造更多VCSEL。VCSEL的垂直制造还允许高水平的附加组件集成。照片探测器，镜子，电路和其他组件可以轻松集成到结构上，以实现船上（COB）技术的芯片。随着该技术的发展，已经开发了多种设计用于特定应用。在这里，我们看一下简化的过程流程来设计激光腔。

制造vcsel需要多个加工步骤。下面的表1给出了基于砷化镓的VCSEL制造的每个步骤的简化分解，突出了相关步骤的牛津仪器解决方案。PlasmaPro 100可在高达200mm的晶圆上提供均匀的工艺。VCSEL市场目前正朝着150mm方向发展，因此这里演示的大部分工作都集中在100mm到150mm的晶圆尺寸上。

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美国心理学协会
牛津仪器等离子体技术。（2019年12月19日）。基于GAAs的VCSELS中的MEES高产制造。Azom。从07年10月7日，2021年回收来自//www.washintong.com/article.aspx？articled=18722。
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牛津仪器等离子体技术。“高产基于VCSELS的MESAS高产制造”。AZoM．10月20日2021年10月。。
芝加哥
牛津仪器等离子体技术。“高产基于VCSELS的MESAS高产制造”。Azom。//www.washintong.com/article.aspx?articleId=18722。（访问07,2021）。
哈佛大学
牛津仪器等离子体技术。2019。基于GAAs的VCSELS中MESAS的高产制造．AZoM, viewed september 21, //www.washintong.com/article.aspx?ArticleID=18722。