2021年1月14日更新
Elizaveta Galitckaia/
作为一种技术,表层计量与测量表层小特征相关这是一种跨行业使用的技术类,但在精密工程和精密机工应用中发现使用最强
亚博网站下载需要查看成品面的特征正变得越来越重要,因为许多表面特征和结构正在变小,因为日常产品使用的材料以小维编译亚博网站下载多材料显示微量和纳米尺寸表层特征后,可使用几种技术-接触和非接触-所有优缺点都可使用。下方,我们将研究最常用地表测量技术 和两者的不同
stylus配置程序
Stylus剖面设计器是一套接触法和今日使用最古老表层计量技术tylus剖面技术范围包含线性差变变换器和相位插图方法作为一种通用技术,它们使用方块上方的小技巧测量面值,小技巧随面移动时与面常相接触
特殊技术之间有某些显著差异LVDT剖面器电机测量法是移动图层下面,表层特征记录为Tylus垂直变换输出为模拟信号,转换成数字信号后分析相位插图通过栅栏点射激光束以生成表面折射束干扰信号帮助控制设备并剖析材料表面
上方的不同类型大相径庭因为它们都使用小技巧剖面,知道小技巧维度关键-像小直径小小特征可分析特征小特征(但小技巧小小小小小技巧可抓表层)。需要考虑小费问题,因为小费需要足够硬到它不会立即磨损, 但不难到分析时损害面部提示从应用到应用不尽相同使用图案剖面器时需要考虑多项因素,包括端料直径与应用表力和扫描速率,因此在测量前可以花很多时间校准工具
干扰度
干涉度量法-特别是白光干涉度量法-在表层计量空间已变得受欢迎相位插度可使用,但比白光插度少得多白光插图中,波束拆分器将光从源转成二分光束其中一个波束对准样本,另一个波束对准内部引用镜像投射样本和引用后,两光束在到达检测器前合用并观察到干扰强度,用来判定材料表面特性
白光使用是因为它比单色光读法更精确,因为一致性长度短然而,测量的精度和可重复性高度取决于扫描机制受控深度和从原干扰数据计算表面属性精确度分析区是另一个带插图的考量可分析宽度,但这需要低放大镜片降低分辨率,而高分辨率可获取,但小面积时需分析白光插图分辨率限值约0.5微米
封装显微镜
封装显微镜学已成为一种常用技术 描述素材面组合显微镜中,光集中在显微镜目标对象焦平面上通向最大光线穿透检测针孔区,而非聚焦区所有其他光线则受抑制使组合显微镜化为理想工具 观察极小局部面积表面特征多组合显微镜还适应扫描x和y方向以确定是否存在有深度的表层特征
取三维地形图时 也需要用z方向扫描组合显微镜分析的主要缺陷之一是它使用高数值孔径目标,而虽然它提供高放大度,但正是这个构件限制视域并用组合显微镜分析
源码
- 地表计量技术比较-ConroyM阿姆斯特朗J物理杂志系列会议,第7次测量技术与智能工具国际专题讨论会2005年DOI:10.188/1742-6596/131/106
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