虽然每一种显微镜都是利用电子而不是光来获得更高的图像分辨率，但方法在细节上有所不同。
有什么相似之处?
这两个TEM和SEM共享几个关键组件:
- 多重静电和电磁透镜涉及管理的轨迹和形状的电子束。
- 一个电子源。
- 样品室置于高真空下。
- 电子光阑。
有什么区别?
- TEM能够捕获关于样品内部结构的数据，而SEM提供关于被分析对象表面的数据。
- TEM比SEM具有更高的分辨率。
- 与SEM相比，TEM对样品制备和分析条件有更严格的要求。
.jpg)
硅的电子显微镜图像。a)带有SED的SEM图像提供了表面形貌的信息，b) TEM图像揭示了样品内部的结构信息。图片来源:赛默飞世尔科学奇观-世界BV
扫描电子显微镜(SEM)
自20世纪30年代首次引入电子显微镜以来，扫描电子显微镜已经发展成为从法医学到材料科学，从生命科学到工业制造等众多研究领域的强大机制。亚博网站下载亚博老虎机网登录
这种流行增长的关键原因与在一系列应用中使用的材料尺寸的不断缩小有关。亚博网站下载
扫描电镜到底是如何工作的，关于这项技术需要了解什么?本文旨在回答关于SEM最常见的问题。
SEM是什么?
一个扫描电镜是一种利用电子束扫描样品的电子显微镜。背向散射的电子，以及从物体近表面区域脱落的电子，被识别出来并用于生成高分辨率图像。
它是如何工作的?
也称为电子枪，电子源产生的电子被施加的电压加速。磁透镜将电子流汇聚成聚焦的光束，然后在一个小而精确的位置到达样品的表面。
在矩形光栅中用电子束扫描试样的表面。用户可以通过减小试样上扫描区域的尺寸来增强放大效果。
探测器采集背向散射电子和二次电子(SE)。对相关信号进行分析，并在图像显示上跟踪其亮度的变化。
次级电子通常用作读出信号。它们形象化了样品表面的地形:明亮的区域表示边缘，而黑暗的区域表示凹槽。
扫描电镜可以用于什么目的和样本?
扫描电镜当需要关于特定标本的表面或近表面面积的微观数据时，就成为一种必要的工具。由于这个原因，这项技术在技术、工业和科学的几乎所有领域都有应用。亚博老虎机网登录
唯一明显的限制是，被观测的物体必须能够应付腔内的真空和电子的轰击。
这些信息都是从赛默飞世尔科学现象世界BV提供的材料中获取、审查和改编的。亚博网站下载
有关此来源的更多信息，请访问赛默费雪科学现象世界BV。