扫描电子显微镜的解剖

所有的扫描电子显微镜都是由各种主要部件制成的。这些元素背后的工程将建立图像的质量和调查的结果。

本文将逐个评估一个扫描电镜并将提供一些有趣的见解，以了解它们是如何运作的，以及它们在显微镜下的作用。

2.1电子源

CeB₆钨和钨都是热离子源，其灯丝被称为阴极，从中产生电子。

当阴极材料的功函数(钨或CeB)为电子提供足够的能量以越过势垒时，电子开始发射₆．

能量是通过加热阴极来提供的，而加热阴极是通过电流通过阴极来实现的。相对于阴极带负电的Wehnelt电极将不需要的电子移回灯丝，成功地计算出发射面积的大小。

在Wehnelt电极和阴极下面，阳极提供了一个强大的电场，或一个强大的透镜，使电子束在阳极和Wehnelt之间相交成交叉。

下一张图片显示了CeB的原理图₆源，包括Wehnelt电极、阳极和灯丝。

灯丝和Wehnelt都是高电位的，但阳极是接地的。位于阳极和灯丝之间的电路计算发射电流。

这是由CeB组成的热离子源的示意图₆晶体(灯丝)，Wehnelt电极。和阳极。红色的轨迹表明，由于Wehnelt电压和发射电子的轨迹，电子在灯丝中被推回，形成了初级束。图片来源:赛默飞世尔科学奇观-世界BV

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