目前，在电子业务中，硝酸盐，GAN和相关化合物正在迅速成为主要参与者。本书旨在概述外延gan层中关键结构参数的X射线衍射分析。它介绍了基本的晶体学概念，以及这些与光电和电子设备创建的技术结构的特定要求有关。
它是针对那些希望深入了解背后原则的人XRD应用程序在不断前进的复合半导体设备字段中。它还为专有分析软件中使用的概念（例如X’Pert外延）提供了背景说明，为那些参与外生层的测量的人以及那些想了解分析过程以使他们能够设计其计算的人。这本书的重点是GAN技术，但是原理主要可转移到其他复合半导体系统的解决方案。
高分辨率摇摆曲线和相互空间图主要用于本书解决方案的讨论。尽管其他方法可用于研究高级材料，但这些是GAN设备技术中最常见的应用。亚博网站下载研究环境通常将反射法，面内散射，萨克斯群岛和gisaxs用作X射线衍射方法。
快速测量和自动化通过新方法的出现不断改善。单独的出版物将详细介绍这些实验方法。Malvern Panalytical X’Pert MRD和X’Pert MRD XL设备app亚博体育可用于执行本书中提到的所有测量。
使用外延设备结构描述了精确和定量测量。有缺陷的外延层的相对质量可以通过几种替代方法来测量。这种方法包括峰形和宽度测量值（通过此途径探索镶嵌块尺寸），晶体学倾斜和旋转以及缺陷密度和质地扩散的估计。还引入了定性分析所涉及的原则。
- 第1章简要介绍了与XRD计量学相关的GAN设备技术概念。
- 第2章讨论了晶体结构，晶体尺寸和晶体方向的表达，以及在外延薄膜中计算应变，组成和层厚度的程序。
- 第3章提供了获得衍射峰位置和布拉格定律的应用介绍d- 速度。
- 第4章提供了一种替代途径，以根据衍射模式模拟和拟合方法获得外延层厚度，组成和菌株。
- 第5章讨论了如何使用峰宽度的测量结果作为镶嵌块大小和倾斜的指南，从而在GAN缓冲层中使用脱位密度。
在这里阅读全文
此信息已从Malvern Panalytical提供的材料中采购，审查和改编。亚博网站下载
有关此消息来源的更多信息，请访问Malvern Alachytical。