监控BPSG的半导体行业

由莫尔文Panalytical2019年10月18日

要求分析应用在半导体行业的监控电介质如BPSG的沉积。它要求测量精度高和良好的精度。满足这些条件的一种已证实的方法是使用波长色散x射线荧光(WDXRF)。定期分析电影在100年和1250年之间进行了纳米硼和磷的浓度。光谱仪不仅促进这些掺杂剂浓度的测量,而且还允许BPSG膜厚度的同时测定。

这份报告讨论的再现性和长期稳定性2830年莫尔文Panalytical ZT型晶片分析仪来确定硼和磷浓度和膜厚度BPSG的电影。计功能显示为一个函数的过程对硼浓度的测定。

仪表

硼的终极灵敏度得到使用2830年莫尔文Panalytical ZT型配备固定Si Kα和P Kα渠道和新一代极端高性能B Kα通道。表1描述了测量条件。

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