下面及其各自的统计数据示出了两个样品F8和F6的碳化硅等效圆形区域直径分布分析。
对这些分析进行比较表明,样品F6的平均大小比样品F8大44%。
碳化硅F8体积分布
ECA直径 - 卷:1.0 - 55.06微米
。 |
。 |
总数 |
20,057 |
意思是 |
11.4微米 |
10.00% |
7.8微米 |
25.00% |
9.0微米 |
50.00% |
10.6微米 |
75.00% |
12.6微米 |
90.00% |
15.0微米 |
硅碳化物F6体积分布
ECA直径 - 卷:1.0 - 55.06微米
。 |
。 |
总数 |
19,919 |
意思是 |
16.4微米 |
10.00% |
10.6微米 |
25.00% |
12.5微米 |
50.00% |
15.2微米 |
75.00% |
18.8微米 |
90.00% |
22.9微米 |
这视觉分析前哨粒子洞察力可以选择样品的任何粒径范围,并立即确定整个所选尺寸范围内的统计信息。然后,可以为每个样品隔离和/或鉴定大于30微米的每个粒子。可以观察到样品F8只有三个大于30微米的颗粒,而样品F6具有36个这样的颗粒。yabo214同样,大于30微米的样品F8颗粒的yabo214大小接近50微米,因此,其体积粒径分布会偏向。
Sentinel Pro提供的叠加功能可以显示这些差异,如下所示。可以注意的是,当使用体积显示时,在五个微米下看不到yabo214颗粒。
硅碳化物F8 vs F6卷覆盖
蓝线:碳化硅F8红线:碳化硅F6
视觉分析前哨粒子洞察具有除通常的激光分析以外的另一个特征。如果要小心选择样品浓度,因此每个图像都包含一个粒子,则可以检查给定粒径的颗粒数与粒子计数器几乎相同。yabo214数量分布消除了对分布分析的较大粒子体积贡献的偏差。然后,较小的颗粒具yabo214有与较大颗粒相同的重量,然后可以观察到任何尺寸范围的颗粒数量。Sentinel Pro可以说明这些样本之间的统计信息如何按数字差异,即使对于所有30个形状捕获的形状也是如此。
以下是所讨论的样品的覆盖层。可以注意的是,由于样品F6中的单个大50微米粒子,高yabo214于30微米的粒子“消失”,是所测量颗粒总数的无关紧要的百分比。
应该注意的另一种观察结果:在5微米以下的样品F8罚款似乎与样品F6不同。
硅碳化物F8与F6数字覆盖
蓝线:碳化硅F8红线:碳化硅F6
这Sentinel Pro软件可以选择任何ECA直径范围,整个范围内的新统计数据的计算以及为此新焦点分析的数据和图表提供。从1.0 - 5.0微米中选择ECA直径应证明这两个样品之间罚款的重要性。
以下是这些样品的覆盖层由5微米以下的颗粒数量。yabo214
碳化硅F8 vs F6数字覆盖在5微米以下
蓝线:碳化硅F8红线:碳化硅F6
以下显示了5微米下每个样品的捕获统计数据:
碳化硅F8体积分布低于5微米
ECA直径 - 编号:1.0 - 5.0微米
。 |
。 |
总数 |
25 |
意思是 |
2.9微米 |
10.00% |
1.1微米 |
25.00% |
1.3微米 |
50.00% |
1.6微米 |
75.00% |
4.8微米 |
90.00% |
5.0微米 |
碳化硅F6体积分布低于5微米
ECA直径 - 编号:1.0 - 5.0微米
。 |
。 |
总数 |
256 |
意思是 |
1.4微米 |
10.00% |
1.0微米 |
25.00% |
1.1微米 |
50.00% |
1.2微米 |
75.00% |
1.5微米 |
90.00% |
1.9微米 |
结论
- 样本F6的罚款量是5微米以下的罚款量的十倍。
- 大多数样品F6罚款尤其小于样品F8。
- 样本F6的体积平均值比样本F8大44%,但含量更多。
- 可以重新采样F8,以查看是否可以重复30微米以上的任何颗粒的测量。yabo214
- 样品F8可以产生更紧密,更均匀的粒径分布,而罚款较少。
- 样品F8可能是更好的产品;可以考虑这些样品在过程中的表现不同。
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