焦点变化与光学技术

当需要评估表面质量和微观几何特征时，需要有高精度的测量方案。与其他光学技术相比，变焦技术弥补了传统三维坐标测量技术与传统表面测量技术的差距。

配置文件投影仪

轮廓投影仪已经被现有的光学测量系统所取代。然而，它们对于理解光学测量技术仍然有用。轮廓投影仪将组件表面特征的放大图像投影到屏幕上，并使用模式匹配将该图像与参考图像进行比较。

测量可以在几秒钟内完成，但几何特征的自动测量限制了这项技术的二维测量。轮廓投影仪对对准也很敏感，这意味着测量值可能根据物体的方向而不同。

结构光

用有结构的光，物体被投影仪照亮，投影仪上有一些明亮和黑暗的条纹。然后至少用一台相机来捕捉这张照片。投影仪的条纹图案被样品的地形所扭曲。最后，通过图像处理来计算地形。

使用结构光可以快速测量大表面，因此它通常用于测量非常大的部件(例如车身)。然而，该技术很少适用于高分辨率的亚微米深度测量(例如，粗糙度测量)。此外，由于景深低和对不同表面特征的高灵敏度，应用范围受到很大限制。

共焦系统

共焦系统在探测器内部的焦点处包含额外的光圈，它会阻挡来自焦平面上下的光，这意味着只有焦平面内的光才能通过探测器。

深度是通过探测最强的信号来测量的。因此，共焦测量具有高横向分辨率的特点。它们对于测量硅结构或半导体几何结构上的光滑表面特别有用。然而，它们的一个缺点是对振动很敏感。

Focus-Variation

Focus-Variation收集表面的深度信息和真颜色信息。Real3D技术用于从不同角度测量复杂的几何图形。然后将这些数据组合成一个完整的3D数据集。Focus-Variation可以在一个系统中测量形状、尺寸、位置和粗糙度，从而弥补了传统三维坐标测量技术与经典曲面测量技术之间的差距。

组件3D表面的测量不同于使用轮廓投影仪时的测量，后者只是测量一个轮廓。用共焦系统和干涉仪只能在系统焦点附近的一个非常窄的带内测量强度峰值或强度调制。Focus-Variation对振动的容忍度更大，因为它在更大的区域测量锐度。

这些信息来源于布鲁克·阿利科纳提供的资料。亚博网站下载

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