检测CMP浆料中的大粒子计数yabo214

在这次采访中，Entegris的技术经理Mark Bumiller向AZoM介绍了如何使用accuizer来检测CMP浆中的大颗粒数量。yabo214

请问你能给我们一个介绍公司，你是谁以及你做什么？

Entegris最初是一家材料公司，现在已经亚博网站下载发展成为一家价值数十亿美元的纯解决方案供应商，主要面向半导体行业。一年前，Entegris收购了Particle Sizing Systems，主要对我们的Mini感兴趣，用于监控半导体行业的大颗粒，特别是在CMP领域。yabo214

然而，Entegris Size系统只是一个非常大公司的一小部分，为半导体行业提供全球解决方案。

通过产生微划痕，超大或聚集颗粒可以在抛光半导体晶片上yabo214引起墓地。虽然它们相对较小，请您解释LCP在CMP浆液中的后果吗？

随着CMP过程的进展，表面必须是平面的，因为它必须是非常平坦的下一个步骤。由于它是扁平的，任何可能在表面造成划痕的东西都必须避免。

例如，当你将晶圆片拉平时，如果晶圆片上有一片碎片，它可能会在表面造成大面积的划痕。即使是一个大的粒子也可能通过CMP的平化过程，并造成一个小划痕。

尺寸是如此之小，即使是很小的划痕也会在晶圆上的那个区域造成缺陷，这可能是多个芯片。随着各种工艺的发生，这些晶圆变得越来越有价值。任何微小的缺陷都会对整个晶圆片的最终成品率产生有害的影响，这对工厂的快速能力至关重要。

归咎员被认为是最准确和敏感的系统，用于检测CMP浆液中的大粒子计数（LPC）。yabo214为什么是首选产品？

当它们被交付时，CMP浆液有一个确定的粒度分布。这种分布可能非常小，但平均大小可以通过使用一种技术，如动态光散射或激光衍射找到。

对产量的关注与这几个大颗粒有关。yabo214捕捉几个大粒子是很棘手的，因为这是一个统计游yabo214戏。为了定义一种分布，需要测量大量的粒子，而需要测量的粒子数量取决于分布的宽度。yabo214

如果需要捕获一个偏远的种群，就会变得更加棘手。我们需要观察yabo214许多粒子，以确保任何异常粒子都能被捕获。

这就是为什么指定员是最常用的工具来寻找这些偏远的粒子。yabo214通过归咎员，只能测量大的粒子计数，而不是平均尺寸。为了找到这些大的粒子计数，这种非常浓缩的浆料需要通过传感器进行并通过传感器，并测量足够的粒子以捕获大型。yabo214

为了做到这一点，这种非常浓缩的浆料需要稀释。我们有各种稀释流体，使我们能够在不改变浆料的性质的情况下找到合适的浓度。在进入传感器之前小心地稀释浆料，以确保这些大颗粒仍然存在。yabo214

根据要测量的泥浆类型，Entegris有三个不同的传感器。例如，LE传感器可用于二氧化硅泥浆，FX传感器可用于二氧化铈泥浆，FX- nano传感器可用于含有少量大颗粒的清洁泥浆。yabo214

根据要测量的CMP浆液的种类，我们已经开发了一系列传感器。这是稀释流体的组合，选择正确的传感器，知道如何将其打包到一个系统中，并将其在线，这样就可以像在实验室中一样，提供同样伟大的统计结果。

什么将这个产品与市场上的其他产品分开？

由于其对偏远群体的敏感性，该产品分开。由于存在大量粒子，我们看看统计数据，以确保我们发现其他技术可能不会捕获yabo214的偏远粒子。

如果你只看100个粒子，你就不会找到异常值。yabo214但是，如果你看一下200,000个粒子，你会找到它们。yabo214我们的产品是赋予统计准确性的工具，以确保找到可能导致麻烦的异常值。

如何减少CMP浆液中超大粒子的数量？yabo214

为了保持屈服，我们必须确保这些大粒子不会进入Fab区域，我们希望确保他们不会离开CMP交付区域。yabo214这样做的方式通常是通过过滤。Entegris也是CMP递送系统的主要过滤供应商。

我们有一系列过滤器解决方案，用于CMP输送系统和使用点。第一个保护步骤是CMP过滤器，然后最终的保护步骤是使用指定员迷你，这可以提醒您，如果您落在您应该进入的范围之外。

Accusizer允许您实时和在线执行粒子分析。哪些应用程序将真正看到这个的好处？

已经创建了一个非常昂贵的工厂。它的工作是制造尽可能多的晶片，以便尽可能多地获得多种集成电路。盈利能力之一是产量，随着步骤进展，需要最小化任何缺陷以保持屈服。

过滤和宾控器迷你通过保持低颗粒数来保持高产量，产量的最大化是最重要的因素。

我们的读者可以在哪里找到更多？

要了解更多，请访问 -https://www.entegris.com/shop/en/USD/Products/Fluid-Management/Sensing-and-Control/Particle-Characterization/c/particlecharacterization