Advanced BSE Detection Capabilities of the TESCAN CLARA UHR-SEM

The BSE (Back Scattered Electron) image contrast differs depending on both the take-off angle and energy of backscattered electrons. This contrast change needs to be visualized as some information may remain hidden when using more conventional BSE detection systems.

The new TESCAN CLARA ultra-high-resolution scanning electron microscope (UHR-SEM), based on TESCAN’s BrightBeamTM technology, enables variable, filtered BSE detection. One of the features of the TESCAN CLARA’s BSE detection system is the electron filtering based on take-off angle which allows users to explore three different contrast mechanisms.

Tescan Clara UHR-SEM作为标准配备了三个BSE探测器：

1. 完全可伸缩的室内检测器收集广角电子。这个广角BSE信号显着突出了地形对比。
2. 在梁轴向检测器中，收集窄角电子。轴向检测器收集的BS的起飞轨迹当然接近SEM柱的光轴，因此提供了无形的组合对比度。
3. 多进程（BSE）收集所谓的“中角”反向散射电子。该探测器的独特能力是，现在可以在这里看到从室内BSE检测器隐藏的区域，但是，样品的中等地形对比度也得到了维持。

该应用示例显示了反向散射电子的角过滤的好处。

Fig 1.用不同Tescan Clara BSE检测器收集的金属表面的自然氧化图像。le bse（广角），多探测器（中角），轴向（窄角）和颜色编码图像，其中每个角度都由颜色表示。

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TESCAN USA Inc.

Tescan由特斯拉的一组经理和工程师创立，其电子显微镜历史记录从1950年代开始，如今，Tescan是全球著名的聚焦离子束工作站的供应商，扫描电子显微镜和光学显微镜。Tescan的创新解决方案和与客户的合作性质在纳米和微技术领域赢得了领先地位。该公司很荣幸能与一系列科学领域的著名机构一起参加主要的研究项目。Tescan就价值，质量和可靠性为客户提供了领先产品。Tescan USA Inc.是Tescan Orsay Holdings的北美部门，该公司由捷克公司Tescan合并成立，Tescan的合并是SEMS和专注的离子Beam Workstations的全球领先供应商，法国公司Orsay Physics，是定制定制的世界领导者聚焦离子束和电子束技术。

This information has been sourced, reviewed and adapted from materials provided by TESCAN.

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