哪种测量方法最好？有什么好处和缺点？每个单独的方法都可以实现哪些要求？这两种方法都将不断进步，并且很可能彼此旁边。
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在本文中发现关于光学和触觉测量的信息，以及选择正确方法的决定性框架要求。
光学测量工具及其优点
目前的光学测量工具允许非接触，因此非破坏性的表面测量。轮廓线可以设置在整个表面的任何方向。此外，还可以在三维模式下分析部件的轮廓或整个地形。层厚度、平整度、波纹度或粗糙度也可以三维指定。
光学测量系统的其他优点是最有效的测量时间和用户友好的操作。这允许操作员承接与他们自我控制的。
具有白光的彩色测量是一种高度通用的定量表面测量方法。该方法利用用于测量的光学透镜系统的必然颜色误差。
这种颜色误差导致当用白光照射时，光束输出侧的光轴上不同颜色的光的焦点拉伸。如果系统经过适当的校准，从表面反射光的波长将进入光谱仪，并确定样品的高度值。
然后，这个光点可以通过表面定向成一条线，并以三维结构或线的形式进行表征。因此，表面的颜色不影响测量结果。
手写笔仪器及其问题
作为建立的选项，经典的触控笔仪器可用于测量轮廓或粗糙度。虽然，与使用表面表征的配置文件相关的问题很好地记录。例如，信息被限制在轮廓线的方向上。只有少量组件具有与方向无关的表面结构。
不可避免的是，这意味着沿着特定方向的一条线不能对一个表面的结构或粗糙度做出明确的说明。此外，最常用的触觉设备的分辨率往往太低。触针尖端无法接触到元件的沟槽。
因此，快速测量表面而不是单个轮廓是不可能的。此外，不可避免的弄虚作假的表面所施加的接触力造成了一个问题，在大量的应用。
相似性的度量
所考虑所有测量的可比性至关重要。这适用于简单的简档以及完整的三维表面区域。在DIN / ISO规则中概述的轮廓测量的方法和公式类似地转移到表面。
同时还考虑了相应的滤波函数。这样做的好处是可以用一个过滤程序来测量具有选定几何形状的探针尖端的相应粗糙度值，因为光学数据通常提供比触觉数据更高的分辨率，因此不能直接与触觉数据进行比较。
使用探测器尖端仿真，客户或供应商的比较值以及更好的解决数据，以获得自己的生产。
技术密集型产业的生产环境
在生产环境中，光学表面测量的集成带来了巨大的潜力。特别是在高技术行业，对材料表面的要求不断增加，产品的复杂性不断增长。亚博网站下载
仅列举三个领域，医疗技术、太阳能技术和微电子技术，都利用表面作为功能载体，如光学和触觉性能、电导率、生物相容性和腐蚀保护。
制造过程，例如涂层、连接和成型，经常发生在微米和纳米范围内。如果仅在亚纳米范围内的微小偏差就会对产品的功能产生重大影响，例如在晶圆技术中，对生产过程的一致监控和相关质量保证对公司的成功至关重要。
通过控制测量的可靠和准确的特性在现代是无价的。光学表面测量是一种非接触式的无损测量方法，是一种理想的测量方法。
越来越复杂的产品，如微电子元件、光学镜片、人工膝关节或太阳能电池，只能用高度灵活的测量技术进行分析。这是因为在这些情况下，一个方法是不够的。
通用的测量技术
FRT多传感器测量工具满足这些需求。它们是多种测量传感器和方法的组合，能够高精度地确定各种表面特征，如3D地形或几何形状。
在晶圆层面，制造商感兴趣的是表征波纹度、弯曲度、总厚度变化(TTV)、粗糙度或电导体路径的宽度和高度。在这方面，多传感器测量工具有效地提供关于最佳制造参数的关键信息。
测量过程的自动化
两个方面对于质量保证的自动化是必不可少的：测量过程自动化本身和集成到自动化生产过程中。前者允许尽可能多的工人来评估产品质量。
一键式解决方案已被创建为这一要求:自动测量程序的各种范围，程序，和参数，操作员可以在把样品放在机器上后按下一个按钮运行。
有了这些解决方案，即使是对太阳晶圆的复杂测量也能简化为易于理解，比如好的或坏的评估。样品的定位是测量过程自动化的另一个方面。
特别是在晶圆技术领域，可以使用各种抓取和搬运系统，使加载过程更高效和简单。先进的图像采集硬件、自动化测量程序、智能模式识别和集成校准提供了快速的吞吐量时间和可靠的结果。
软件是核心
将结果整合到生产过程中也很重要。例如，在半导体行业，测量工具的一个强大的软件平台通过一个半兼容的SECS/GEM接口将获取的数据通信到生产线的下一阶段。
这一特性使材料成本的降低变得更加简单。这是一个至关重要的好处，特别是对于昂贵的原材料，例如用于太阳能行业的原材料。亚博网站下载
该行业正越来越多地尝试将光学3D测量技术直接集成到生产线(也称为在线区域)，以提供对各种参数的全面控制。
这是出于充分原因的动机。一个自动光学表面测量确保测量过程是可靠的、快速的、可重复的和可验证的，这也促进了生产质量保证的发展。
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