物理失效分析在MEMS运动传感器:1毫米宽的横截面执行与TESCAN S8000X

微机电系统（MEMS）可被定义为在利用微细加工的技术制成的微型机械和机电元件（即，设备和结构）。MEMS通常作为执行器，传感器和射频和微流控组件使用所有这些具有广泛的跨越各种领域，包括医疗保健，汽车和军工等行业的应用。

这些MEMS装置能匹配或超过它们的常规对应物的性能，然而，与更小的体积，减轻重量，和显著降低生产成本。然而，存在着在制造和包装等设备相当大的挑战。特别是涉及到成品率和可靠性需要多样化的问题需要克服。

图1所示。通过W2W的接合层的多个横截面MEMS型腔模。

用于运动传感器的惯性结构通常由晶片到晶片（W2W）型腔模组成。盖子被结合到用金属材料（图1）的传感器。常规故障分析包括在审查中的粘结层，导致故障的制造缺陷。为了这个目的，在所述MEMS装置需要特定的位置的大面积的横截面来制备。这些横截面是由机械抛光常规制备，一种技术，它确实能够大面积对横截面，但在另一方面，引起严重的伪像这样分层，撕裂，机械应力或甚至管芯的部分的总的破坏．此外，它是很难保持对最终指向了良好的控制。

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TESCAN USA Inc .)

今天TESCAN由一组与它的电子显微镜的历史经理和工程师从特斯拉在1950年开始的公司成立于1991年，是聚焦离子束工作站的全球知名供应商，扫描电子显微镜和光学显微镜。TESCAN的创新解决方案和协作特性与客户已经赢得了在纳米和微型的世界领先地位。该公司很荣幸地参加重要研究项目，在众多科学领域的知名机构。TESCAN为其客户提供领先的一流产品的价值，质量和可靠性方面。TESCAN USA Inc.是TESCAN ORSAY HOLDINGS，由捷克公司TESCAN，中小企业和聚焦离子束工作站的全球领先供应商的合并而设立的一家跨国公司的北美子公司，而法国公司ORSAY物理，在定制的全球领导者聚焦离子束和电子束技术。

这些信息已经从TESCAN提供的材料中获得、审查和改编。亚博网站下载

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