一个3合1测量技术，可以实现差异

为什么3合1技术？

共聚焦

已经开发了共聚焦分布器以测量表面的表面高度，从光滑到非常粗糙。这种共聚焦分析提供了最大的横向分辨率;线路和空间高达0.14微米。该分辨率可以减少到0.01μm，具有空间采样，这对于关键尺寸测量是完美的。为了测量与70多的陡坡陡峭的曲面^O.（粗糙的表面高达86^O.），高Na（0.95）和放大倍数（150倍）目标。专有的共聚焦算法在纳米级上提供垂直重复性。

干涉测量

产生相移干涉测量法（PSI）以测量具有子埃埃分辨率的所有数值孔径（NA）的平滑和连续表面的表面高度。为了测量具有相同高度分辨率的大视野，可以采用非常低的放大率（2.5x）。

相干扫描干涉测量法（CSI）使用白光扫描光滑到中等粗糙表面的表面高度，在任何放大倍率下实现1nm高度的分辨率。

AI焦点变化^新的

主动照明焦点变化是一种光学技术，已经开发出测量大粗糙表面的形状。基于Sensofar在组合共聚焦和干涉测量3D测量中的广泛专业知识，本技术目的是为了在低放大率下补充共聚焦测量。使用主动照明具有改进的范围，即使在光滑的表面上也能提供更可靠的聚焦位置。该技术的能力包括高斜率表面（最多86个^O.），最高速度（高达3mm / s）以及大的垂直范围测量。

没有移动部件

Sensofar的共焦扫描技术是MicroDisplay扫描共聚焦显微镜（ISO 25178-607）。数据采集​​快速，准确且一致，因为微显示器创建不具有活动部件的快速切换设备。Sentofar的共焦技术提供了世界级的垂直分辨率，感谢此微透视及其相关算法，这是对所有其他共焦方法的改进，甚至是激光扫描共焦系统。

具有差异的功能

薄膜^新的

使用薄膜测量技术快速，精确，无损地测量光学透明层的厚度，其另外不需要样品制备。通过系统获取可见范围中的样品的反射谱，并与软件计算的模拟光谱相比，修改层厚度，直到找到最佳拟合。该系统可以将透明薄膜从50nm达到一秒钟内测量到1.5μm。客观放大率，可以低至0.5μm，高达40μm，确定样品评估点直径。

连续共聚焦

连续的共焦模式是共聚焦测量技术的开创步骤，其稳定地将采集时间减少了3倍。它同时扫描面内和Z轴，避免离散（效率和低效）平面逐个采集古典共焦。因此，在大面积扫描和大Z扫描中是必要的，用于减少采集时间。

HDR.

高动态范围减轻了非常反射表面上的反射和辍学点。

智能噪声检测

S Neox使用SND，一种检测算法，检测某些像素，其中数据不可靠。与使用空间平均的其他技术相比，该过程通过S Neox进行了像素通过S Neox的像素，而不会影响横向分辨率损耗。

出色的横向和垂直分辨率

高分辨率

用于干涉测量法固定的仪器噪声取决于共聚焦的数值孔径，这限制了垂直分辨率。Sensofar专有算法为任何测量技术提供纳米级系统噪声，以最大可能的光学仪器的横向分辨率。所示的地形是亚域（0.3nm）原子层。礼貌的PTB。

DIC观察

差动干扰对比（DIC）用于强调常规观察中的小型高度特征无对比度。使用Normarski Prism创建干预图像，解析在BrightField或Concocal图像中不可见的子纳米刻度结构。

高斜坡

显微镜物镜的数值孔径（NA）限制了光滑表面上最大的可测量斜率，而光学粗糙或散射表面提供超过该限制的信号。创建了Sensofar算法，以测量高达71.在光滑的表面（0.95A）上，高达86.在粗糙的样品上。

此信息已采购，审核和调整由Sensofar提供的材料。亚博网站下载

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