期间用于生物应用的纳米压力传感器的开发，牺牲层的蚀刻和两个膜的密封除以真空间隙，以开发Fabry -Pérot谐振器，非常重要。此外，在制造过程之后意识到膜原始挠度的确切时机至关重要。
图1。制造压力传感器的SEM图像。条刻度1 µm。
测量
压力传感器是一个由机械传感器组成的6x10 µm芯片，该机械传感器由两个多层膜的机械传感器组成，该机械传感器除以真空间隙和光学参考区域。这些膜用作平行反射镜子，建立了一个fabry -pèrot谐振器，该谐振器部分透明了某些波长。外部压力p偏转膜并改变间隙。该设备的设计是为了测量活电池各个组件内的压力变化。
图2。带有非膜的膜（顶部）和带有折叠膜（底部）的设备。条刻度1 µm。
目前，在内部化之前，使用扫描电子显微镜（SEM）进行膜挠度测量。但是，在SEM中，样品必须处于真空压力下，这可能会改变其原始状态。
ASensofar光学剖面实现了制造后膜挠度的快速和非侵入性测量。芯片的尺寸仅几微米，但是膜的曲率更接近数十纳米，因此使用高放大镜头至关重要。
图3。从底物释放之前，压力传感器阵列的3D地形。
图4。多个压力传感器的轮廓分析。
图5。6x10μm释放压力传感器的3D地形。
结论
通过这种方法，可以在密封之前和之后对释放的膜的挠度进行快速和无损的测量，主要是验证膜是否塌陷。早些时候，必须通过SEM检查它们，该SEM由于真空而导致膜的挠度变化，并且偏转值不那么一致。使用具有100倍Brightfield物镜的共聚焦方法以PLµ2300获取这些测量值。
Sensofar设app亚博体育备提供非接触式3D表面合格者建立在三种技术上：干涉法，共聚焦和焦点变化方法。借助Sensofar设备，可app亚博体育以快速和以无损的方式执行高分辨率测量，并且易于使用的软件可根据需要提供技术支持。
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