微流体应用微通道的特性

微流体领域有许多应用，因此在过去几年中经历了巨大的发展。芯片上的实验室、护理点设备、芯片上的器官、细胞捕获以及生物和化学分析都是直接微流体应用的一些例子。

在应用方面，微流控设备有各种各样的几何形状，可以根据需要复杂，但包含这些微流控设备的标准结构之一是微通道。

对于微通道的制造，已经陈亚博网站下载述了许多材料，其中一种或另一种的适用性取决于制造方法。其中一些材料是硅、聚合物或玻璃亚博网站下载。制造方法的例子有光刻、软光刻或热熔技术。然而，当使用钠石灰玻璃作为材料时，由于其坚固、透明、耐化学性和低成本而受到青睐，直接激光书写是最理想的方法之一。

它是准确和灵活的，创建非常复杂的几何迅速。此外，由于其非接触性质，不存在污染问题和对洁净室设施的要求。在处理微米尺寸的应用时，有一个清晰的形貌图像以保证其质量是至关重要的，以及与通道尺寸有关的所有信息。

在本文中，使用直接激光写入制造的结构通过共聚焦显微镜完全表征。

测量

微通道是在钠石灰玻璃上用激光直接书写的。激光器采用Rofin Nd:YVO4系统，脉冲宽度为20 ns，中心波长为1064 nm。该结构由一个检流计系统组成，该系统处理光束并允许在不需要样品移动的情况下制造复杂的结构。激光束通过使用100毫米焦距的透镜瞄准基板表面，保证了80 × 80毫米的工作区域²．钠石灰玻璃是从当地的一个经销商那里买的。

为了获得正确的结构长宽比，对样品进行了多次激光扫描。因此，对地形的演变进行了研究。产生了扫描次数为1 ~ 10次的微通道。使用Sensofar S neox 3D光学轮廓仪，用20倍放大物镜拍摄结构区域共焦图像。创建了表面轮廓，并描绘了使用激光扫描的微通道深度的发展，如图1所示。

图1所示。不同激光扫描的多个微通道的共聚焦图像，从左到右。通道的配置文件也生成了。

微通道壁的粗糙度值是一个需要注意的重要值，因为它在微流控应用中应该是相当低的。由于使用了Sensofar S neox三维光学轮廓仪和SensoMAP分析软件，可以从小区域获取粗糙度值。选用了用50倍放大镜获得的8次激光扫描微通道底部的地形(见图2)。

图2。根据ISO 25178，用激光制作微通道的三维形貌和通道底部的粗糙度参数。

由于激光直写的灵活性和准确性，许多微流控设备可以大规模生产。在图3中，可以看到一些使用20X物镜获得的例子的3D共焦地形。

图3。三维共聚焦地形图详细介绍了在钠石灰玻璃上使用激光进行微流控装置的一些例子。

结论

多亏了年代neox这是一款由Sensofar公司生产的3D光学轮廓仪，它可以简单地描述用激光技术制造的微通道的形貌。利用20倍放大物镜共聚焦的方法对激光扫描的结构轮廓的演变进行了检测。

利用SensoMAP分析软件计算了加工通道的粗糙度参数。这里，使用50X放大物镜获得共焦地形。

简而言之，通过使用S neox三维光学轮廓仪，每个结构可以毫不费力地描述粗糙度和尺寸。

这些信息已经从Sensofar提供的材料中获取、审查和改编。亚博网站下载

有关此来源的更多信息，请访问Sensofar计量．