分析卡片上多层电镀的薄膜厚度

IC芯片和电子设备的接触区域通常涂有镍(Ni)、金(Au)和铜(Cu)三层镀层。使用x射线荧光(XRF)光谱法可进行电镀材料沉积量(膜厚)的无损测量。

本文介绍了通过使用薄膜基础参数(FP)技术的三层电镀的Au,Ni和Cu膜的简单定量分析,而不建立标准样品。

样本

  1. SIM卡,IC芯片
  2. 标准物质:NMIJ CRM 5208-a, 20mm × 20mm

IC芯片(左)和SIM卡(右)。

图1所示。IC芯片(左)和SIM卡(右)。

电镀的元素和层数

图2显示了电镀的层和元件。

电镀的元素和层数。

图2。电镀的元素和层数。

样品预处理

在没有任何预处理的情况下,将样品直接放在样品台上。

薄膜厚度和沉积量的定量分析

薄膜FP技术用于定量分析每个金属 - Cu,Ni和Au的层。分析直径固定为1mmφ。

1.认证参考资料NMIJ

表1显示了每层中央点的分析结果。获得了优异的结果,因为每层定量值的误差小于认证值的5%。

表格1。NMIJ CRM 5208-a [μg/cm]的定量分析结果2

元素/层 非盟
量化值 192. 862. 852
认证的价值 184. 869. 880.
(不确定性) (5) (17) (14)

2. IC芯片(IC)和SIM卡(SIM)

表2显示了IC和SIM上的一个中心点的分析结果。

表2。IC和SIM的定量结果[μg/cm2

元素/层 非盟
我知道了 71.0 1700年 25275年
SIM卡 76.3. 1,673 23941年

沉积量和膜厚的公式

光谱仪光谱法,分析结果估计为沉积量。然后,用下面的公式计算假设密度下的膜厚。

在该测量测试中,密度(G / cm3.)Ni,Au和Cu分别为8.90,19.3和8.94。表3中给出了使用表2的值计算的膜厚度。

表3。IC和SIM卡的膜厚[μm]

元素/层 非盟
我知道了 0.037 1.91 28.3
SIM卡 0.040 1.88 26.8

其中Cu层厚度最大,约为30 μm。在这样厚的铜层区域,很难达到足够的定量精度。因此,假设Cu层的厚度为无限,重新计算了Ni和Au层的膜厚。表4显示了薄膜厚度和沉积量的最终结果。

表4。在中心点沉积量和膜厚,铜层厚度为无限

元素/层 非盟
沉积量[μg/cm2
我知道了 70.9 1,782
SIM卡 76.3. 1756年
薄膜厚度[μm]
我知道了 0.037 2.00
SIM卡 0.040 1.97

3.光谱

图3给出了各层解析线的谱图。当金层厚度较薄,只有几十纳米时,峰值明显,表明分析的高灵敏度。

标准X射线发射线用于分析线:Nikα,Aulα和Cukα。当每层元素的分析线彼此接近时,可以使用Kβ和Lβ线。

分析线的光谱。

图3。分析线的光谱。

重复性

通过连续测试IC芯片,通过分析直径为1和3mmφ来进行可重复性测试。通过假设Cu层的厚度是无限的,评估Ni和Au层的沉积量。表5显示了可重复性测试的结果。

表5所示。IC芯片定量重复性[μg/ cm2

非盟 分析直径
平均 70.0 1709年 1mmφ
标准偏差 0.38 3.2
变异系数[%] 0.55 0.19
平均 69.5 1723年 3毫米ϕ
标准偏差 0.41 3.0
变异系数[%] 0.59 0.17

理论x射线强度与Cu薄膜厚度的关系

图4显示了Cu薄膜厚度(μm)与理论x射线强度的关系。当饱和厚度的强度为无限厚度铜膜(JIS H 8501)饱和强度的90%时,定量上限约为18 μm。

Cu膜X射线强度与厚度[μm]的关系。

图4。Cu膜X射线强度与厚度[μm]的关系。

结论

分析镍、金和铜三层镀层的膜厚度是用一种简单的方式进行的,高精度和灵敏度在纳米到微米级,使用1和3毫米φ的小分析直径。使用10 mmϕ的标准分析直径,可能可以定量更薄的区域。如本研究所示,光谱仪光谱法用于薄膜厚度的测量。

此外,XRF光谱法还可以很容易地评估材料中使用的元素及其数量。例如,可用于电镀、物理气相沉积等贵金属的回收,如钯(Pd)、金、铑(Rh)、铂(Pt)等贵金属的用量管理和回收。

测量条件

仪器 :EDX-8000 /(7000)
元素-分析线 : AuLα, NiKα, CuKα
分析方法 :薄膜FP方法
x光管 : Rh目标
探测器 : SDD
管电压 - 电流 : 50 [kV] -自动[μA]
准直器 : 1, 3 [mmϕ]
主过滤器 : 没有任何
测量大气 : 空气
积分时间 :100 [S]
死时间 : 最大限度。30 [%]

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    岛津科学仪器2020。分析卡片上多层电镀的薄膜厚度.AZoM, viewed July 21, //www.washintong.com/article.aspx?ArticleID=17592。

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