具有无摩擦空气轴承的高度精确的力和位置控制

Motion control systems, which normally control the position of actuator or stage, are at times given the task of providing both position and force control. These systems operate in a dual mode, in which either the position or the force applied is controlled by the motion controller.

在力控制模式下，运动阶段必须在位置发生变化的情况下使用受控力量。在位置控制模式下，闭环伺服器用于控制舞台位置，其位置编码器作为反馈。与直接驱动线性电动机结合后，没有摩擦空气轴承，这意味着驾驶系统（电动机，控制器，驱动器）可以将电流直接转移到施加力中。轴承中缺乏摩擦意味着没有寄生力，并且可以直接通过闭环伺服器控制力，而无需外力传感器。

例子。A-131无摩擦精度线性致动器，带空气轴承

这value of force that can be applied is a function of the power available in the motor and drive system. The resolution and precision with which force can be controlled is a function of the bandwidth and control system fidelity. It is possible to apply force in horizontal or vertical directions. A counterbalance system is needed when it comes to vertical motion. The counterbalance system must be designed in such a way that it is friction-free to prevent parasitic friction from being introduced into the system.

在典型的力控制应用中，对于阶段的定位至关重要，非常接近阶段与目标基板接触的地步。这motion controller动态转移到力控制模式（不会丢失伺服锁）并移动舞台，直到达到目标力。随后，控制系统可以维持恒定的力或更改力粘附在编程的轮廓上。在这种模式下，允许阶段的位置在控制施加力时自由移动。

Common applications of force control:

• 微型安排
• 抛光非平板或平面表面
• Assembly operations in which it is necessary for a force to be applied during a bond or weld operation
• 制动摩擦测试
• 触摸接口和按钮组件的生命周期和耐用性测试
• 触摸屏灵敏度测试

根据系统的不同，可以控制施加力的重复性和精度水平会有差异。PI为客户开发了许多系统，这些系统可以使高达0.5 n的力以精度和重复性大于±0.02 n进行控制。

高度可重复的力控制。PI具有空气轴承和力控制的经验至0.5 n范围，其准确性和重复性优于±0.02N。

稳定。恒定的力量可以保持很少或没有长时间的漂移

该信息已从Pi（Physik Instrumente）LP（Pilezo Nano定位）提供的材料中采购，审查和调整。亚博网站下载

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