砷化镓的制备

主办单位泰德斗篷,Inc。2018年12月21日

主要方法

1.将盖玻片切割成与砷化镓器件面积相同的尺寸。

2.环氧玻璃盖滑到砷化镓设备的顶面（设备侧）。

*借助于环氧树脂接口夹减少样品
*使用尽可能少的环氧树脂

3.银环氧砷化镓设备，盖滑到抛光短柱上，允许2-4mm悬垂。

*使用尽可能少的环氧树脂

4.使用15μm开始抛光金刚石研磨膜。利用上图作为每个磨料尺寸的抛光停止指南。抛光压盘速度需为50-60 RPM，抛光方向应与样品界面同延。

5.进行最后的抛光在MultiTex上使用CS1胶体二氧化硅^商标布敷10-15分钟。抛光台转速为50-60转/分，抛光方向垂直于样品界面，从砷化镓器件的底座开始，朝向玻璃盖滑块。

这些信息来源于Ted Pella, Inc.提供的材料。亚博网站下载

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美国心理学协会
泰德佩拉公司。。（2019年9月27日）。砷化镓的制备。亚速姆。于2021年11月14日从//www.washintong.com/article.aspx?ArticleID=17390.
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泰德佩拉公司。。“砷化镓的制备”。亚速姆．2021年11月14日。< //www.washintong.com/article.aspx?ArticleID=17390 >。
芝加哥
泰德佩拉公司。。“砷化镓的制备”。亚速姆。//www.washintong.com/article.aspx?ArticleID=17390. （查阅日期：2021年11月14日）。
哈佛大学
泰德佩拉公司。。2019砷化镓的制备．viewed september 21, //www.washintong.com/article.aspx?ArticleID=17390。