在OLED显示屏中使用等离子体FIB-SEM进行超大区域横截面

有机的发光二极管（OLED） - 平坦发光技术 - 包括布置在两个导体之间的一系列有机薄膜。当施加电流时，它们会发出明亮的光线。由于OLED是消除对背光的需要的发光显示，因此与LCD显示器（需要白色背光）时，它们更有效和更薄。

OLED显示器的另一个好处是，他们是灵活的。因此，OLED技术最近已经非常在现今的显示器市场流行。目前，OLED显示器是批量生产的用于片剂，移动电话，穿戴式，和电视。

OLED或AMOLED显示屏

有源矩阵OLED或AMOLED显示器是一种类型的，其具有的薄膜晶体管的背面面板的OLED显示器的，呈现像素控制更容易，更准确的属性。正是这种特性，使得AMOLED技术非常适用于大尺寸显示器。与传统的基于玻璃的显示器相比，塑料AMOLED面板是多更轻更薄，从而允许任一较大的电池或更薄的器件。此外，下一代柔性显示器将使可折叠移动设备可能的。目前，两个主要片段是智能手机和可穿戴式设备，如智能手表。然而，随着技术的进步，使用其他应用程序中的显示器，如车载显示器，将成为可能。

OLED / AMOLED显示器的物理失效分析可能是因为广泛的材料，例如ITO，聚酰亚胺，有机层，玻璃，铝电极，和其它金属与物理性质彼此基本上不同范围的存在的高度复杂的。亚博网站下载这些材料与厚亚博网站下载度，即使在纳米尺度变化设置在非常薄的膜的形式。

已建立的方法，以检查显示在显示器上的特定位置正在准备的横截面的故障，从而使这些多层结构的详细检查。随后，将横截面是使用高分辨率扫描电子显微镜成像，这使得这样的薄层被解析以找到可能的制造假象或缺陷，结果在显示故障检查。

用于在显示器中制备横截面的标准方法是使用机械抛光。尽管这种技术允许大面积的横截面快速制备，但它具有若干限制，例如诱导严重的伪像，如撕裂，机械应力，分层，甚至是显示器的一部分的总破坏。

The TESCAN S9000X is a Xe plasma focused ion beam scanning electron microscope that has it all for preparing large-area cross-sections in displays that can be as large as 1 mm wide, and at the same time offers high resolution and exceptional contrast at low beam energies needed to image and resolve such small and delicate structures in displays. In terms of sample modification, the S9000X comes with the new iFIB+™ Xe plasma FIB column with the potential to realize a very large field of view with no match in the market (1 mm at 30 keV), a key feature that — in combination with the high milling rates at high ion beam currents that are possible with Xe plasma FIB — allows the preparation of extra-large cross-sections in displays (and in other large structures such as MEMS, TSVs, BGAs, and so on).

因此，TESCAN S9000X可以用来容易地制备1mm宽，高质量和无伪影的横截面的几个小时内，一些东西，永远不能使用传统的镓的FIB可实现内。至于成像，下一代特里格拉夫™超高分辨率SEM镜筒上设置有具有扩展的检测能力的增强在束检测系统（能量滤波轴向BSE信号检测）提供优异的对比度和改善的敏感性，特别是在低束能量，这是要解决的纳米尺寸的特征和在显示薄层。

图1中所示的是187μm深，在2μA的离子束电流下制备的1086μm宽截面，以及30kV的光束能量。列中的中角BSE检测器提供了显示器内的金属层的高对比度图像（图2和图3）。

图1。1086 µm wide cross-section through part of an OLED display, SE detector at 2 kV.

图2。OLED显示器顶部钝化的部分的垂直结构的详细图片/铝电极/聚酰亚胺/ ITO /聚酰亚胺。2 kV的中角BSE探测器。

图3。所述Al触点和SiO的详细图像₂/罪_X层结构。2 kV的中角BSE探测器。

Tescan USA Inc.

1991年由一群经营者和工程师从特斯拉创立，其电子显微镜历史从1950年代开始，今天Tescan是一个全球知名的聚焦离子束工作站，扫描电子显微镜和光学显微镜供应商。Tescan的创新解决方案和与客户的合作性质赢得了纳米和微技术的领先地位。该公司很自豪地参加各种科学领域的突出机构的首要研究项目。Tescan在价值，质量和可靠性方面为其客户提供领先的产品。Tescan USA Inc.是Tescan Orsay Holdings的北美武器，由捷克公司Tescan，SEC和专注离子束工作站的领先供应商，以及法国公司orsay物理，是定制的法国公司的跨国公司聚焦离子束和电子束技术。

此信息已经来源，审议通过TESCAN提供的材料改编。亚博网站下载

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