脚本短段编码软件提高扫描电子显微镜操作效率

文章将探索phenom编程接口PPI可使用图像评价并居中

取SEM图像可被视为跨四步实现(图1),即:

• 图像获取图像取自PI使用phenomSEM
• 分析物理属性使用图像数据测定
• 评价图像属性评价
• 报表编程过程结果向用户提供

图1扫描电子显微镜工作流

图片评价

图像评价包括评价从图像提取的物理属性(分析步骤)并分类实现方式如下:

• 评估样本覆盖范围图像提供
• 计粒子数并按形态排序
• 物理属性集中测量相关区域(基准动作)

文章中将依据图像物理属性确定铜铝块中心位置

为了实现这一点,必须假设铜插入完全圆形脚本设置开始从位置搜索公元前_启动内采样铜区

发自公元前_启动遍历全线(正负)x和y轴查找铜区四边点P级_左转,P级_右转P级_顶部P级_底部.

假设铜区完全圆形结构为中点P级_中心点中取x坐标平均值判定P级_左转,P级_右转和y坐标P级_顶部P级_底部)图2说明这一方法

图2定义分块上的位置

舞台可移动查找边沿, 并每步移动图像分割成物区边缘点可识别为不到50%图像包含铜区点,精确边点定义为非铜或铝类区域中心

图3定义分块上的位置

代码片段1显示实现此目的脚本实例FirstPhenom.MoveTo用初始起始点居中位置,此位置可用命令phem.GetStageModeA

中心后,图像间阶梯大小必须定义-图像场宽度的一半是适当的阶梯尺寸,在此例中等于250微米四向量在所有方向定义查找四边将矢量合并成可迭代列表,以便能够循环叠加这些矢量

循环中,先向中心位置初步猜想,继后阶段逐步移动并捕捉图像抓取图像分治分析以确定铜区占用面积小于图像面积的50%

边缘发现时,铜占用量不到图像的50%,边中心(`质量中心')可使用函数映射判定.度量.center_of_mass

边缘中心以像素表示,可转换成S.I.单元使用phenom获取对象元数据.不同边缘中心存储后,所有数据一经收集P级_左转,P级_右转P级_顶部P级_底部可确定性取这些值的平均值后将阶段移到中心位置P级_中心点.

代码片段1:代码查找并移到块中央

这种方法提供以SEM样本居中比较精确的方式图4显示用户输入的初始中心与使用以上方法计算中心之差运行过程多次可能导致甚至更精确居中,因为对称性提高表示计算假设比较有效

图4定义分块上的位置

代码片段2显示全过程代码,包括代码获取分析阶段

代码片段2完全代码

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