关联显微镜和SEM-AFM

亚博网站下载几乎所有半导体设备都由异构组成,异构层用特殊技术沉积上层有厚度微分下至近奇原子厚度层界面电子配置在电子设备精确操作中起着关键作用虽然模拟这些接口的电子特征是可能的,但沉积过程和层交互作用产生的各种物理效果会以具体和往往不可预测的方式对接口产生影响。

文章以强健方式对离散结构接口与有机太阳能电池结构进行原地分析为例文章中介绍的技巧和研究由赛维等人开发并展开^一号.电气特征界面由扫描KelvinProbe力显微镜SKPM系统类似传统开尔文检验系统SKPM技术提供样本表面和感知端间工作函数差分信息

制片后样本聚焦离子波束

sKPM应用原子力显微镜传感器,测量工作函数变化并偏高横向分辨率,并在某些情况下下至原子级材料固有潜力、电子配置如载体类型和密度以及最终应用电潜力支配工作函数SKPM剖面异构绝对测量不同层间工作函数差并允许直接测量跨异形结构应用外部电压时不同层间电压下降

有机半导体表面对空气接触高度敏感,这些半导体必须嵌入密封容器中高分辨率电气定性授权受辐射面保护不受空气污染CarlZeissAURIGA跨波段工作站和CarlZeissaFM选项组合MERLIN使太阳能电池不必向空气暴露即可准备和调查

高容量缩放SEM确保aFM小技巧精度直接导航到感兴趣的区域因此,可用纳米分辨率获取与表层机械性、地形性、电磁性有关的信息。

FM显微图显示裁剪段3D地形

SEM-AFM

何必开发联合SEM-AFM比较两个系统时,合并SEM-AFM单机有各种长处

系统为测量纳米构造和表面提供创新可能性SEM和AFM组合可精确定位aFM小段AFM提供与表层电地形和机械性能有关的精确信息

应用

• 剖面属性分析,例如:
  • 化学表面潜力开文Probe微镜
  • 样本表面磁力
  • 水面传导性
  • 多远
• 亚博网站下载两种电极材料间的潜在差
• 沿SMD电容层结构的潜在分布
• 亚博网站下载图形化物和其他二维素材
• 电气地形属性
• 特征化:
  • 能源存储
  • 纳米级装置异性结构半导体功能结构
  • 可持续能源生产

硬件集成

实现SEM-SPM综合系统技术取决于吸尘兼容SPM融入目前的SEM系统选择组合实现系统最大可用性和性能这种办法的另一长处是,有可能优化SEM系统并发SEM-SPM系统在上述两种情况中,SEM功能不受限制,从而使SEM/SPM综合测量成为可能

SPM设计像采样扫描器集成设计允许最高精度对SPM端点与电子波束对齐,因为端点和波束互不移动即使在SPM扫描时,也允许未知概率合并测量框架还有能力实现框架率和分辨率最高性能扫描单元本身是SemiLabSTM扫描机的下一个升级步骤,过去几十年以高度可靠性和稳定性闻名样本尺寸可能为10毫米,扫描卷9mx9mx1m,高分辨率设计主张显而易见电子组件如检测器、激光二极管和预增压器定位在真空室内嵌入封装式隔板中交换罐头和样本以及定点激光路径可不破吸尘SPM小技巧可定位于兴趣区,SPM可定位于SEM远程控制UHV兼容版可以通过微小修改SPM使用

软件集成

SEM-AFM等高度复杂科学器件的等级基于操作软件单件用户接口强制实现技术无缝集成开放设计SPM软件扫描工具帮助整合自设计SEM操作软件运算符从单平台和同一种软件控制系统而无需通过标签和窗口网络点击所有设置视图和图像数据都可访问并畅通无阻软件开发面向最高工作流和吞吐量同时,DME自动化程序函数提供SEM-AFM系统所有功能访问权,从而使用户设计高级测量例程能够设计并实现因此,可创建自动运行测量例程从采样的不同区域获取可比数据ScanToolTM软件调查SEM和SPM图像数据标准分析工具存在,更专业或高级分析程序可由公司执行或由公司按客户需求执行,通过DME自动计算器或DME图像计算器执行

特征学

• SEM-AFM系统基于DMEUHVAFM和CarlZeissAuriga^®交叉波束工作站
• 高稳定性扫描单元开发3D单解析
• SEM和AFM组件单件接口
• SEM和FIB交叉波点位于罐头端设计为样本扫描器,使得能在所有三种技术上执行组合测量,完全同点采样和空间测量
• SEM视角0Q85度,同时保持SEM最小工作距离5毫米
• 扫描器规范:扫描范围(xyz)10mx10mx1m
• 能力达到罐头端点和样本FIB0和54度位置,现场端尖由FIB支持
• 自动激光/检测器对齐
• AFM和SEM图像常用数据存储
• 支持所有常用AFM操作模式
• 支持AFM和Auriga标准交换^®函数交换SEM门
• 能力更新流行Auriga^®SEMs对BRR函数简单交换门
• 无限制功能通过使用所有标准AFMCaplievers,无需主动探针

参考并深入阅读

开工亚博网站下载Rebecca Saive、Michael Scherer、Christian Mueller、Dominik Daume、Janusz Schinke、MichaelKroeger、Wolfgang Kowalsky等编程有机太阳能电池电源,高级功能素材卷23,第47期,2013年12月,第5854-5860页

亚博网站下载这些信息取自Semlab半导体物理实验室提供的材料并经过审查修改

详情请访问半导体物理实验室