当需要检查表面质量和微观几何特征时，高精度高精度的测量方案是必要的。与其他光学技术相比，Focus-Variation缩小了标准三维坐标测量技术和经典表面测量设备之间的差距。
轮廓投影仪
轮廓投影仪而其他图像处理系统是目前光学测量系统的先驱，对于理解光学测量技术仍有一定的意义。轮廓投影仪扩展组件的表面特征，并将图像投影到屏幕上。通过模式匹配，将图像与合适的参考图像进行比较。
这种方法的好处是可以在几秒钟内完成测量，尽管几何特征的自动测量仅限于二维应用程序。它的一个主要缺点是对物体放置的敏感性。通过对中，可以得到矛盾的测量结果。
结构光
结构光是基于一个投影仪，它用几个明亮和黑暗的条纹照亮测量对象，并用一个或多个摄像机捕捉它。样品的形貌使投影仪的条纹图案弯曲。扭曲的图案用照相机记录下来。最后，通过图像处理计算地形。
结构光的一个优点是在测量大表面时具有很高的测量速度。因此，该技术主要用于测量超大零件(如车身)。该技术在高分辨率亚微米深度测量中的适用性受到限制，例如粗糙度测量。此外，低景深和高灵敏度的变化表面特性，极大地限制了应用范围。
共焦测量
共焦测量其特征是高横向分辨率。在探测器内部的焦点处，一个额外的光圈用来阻挡来自焦平面上方和下方的光。这样，只有焦平面内的光才能通过探测器。深度是通过探测最强的信号来测量的。共焦系统主要适用于测量硅结构或半导体几何结构上非常均匀的表面。z分辨率高的优点是对振动更敏感。
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白光干涉仪
白光干涉仪(WLI)利用干涉效应来定义地形特征。一个好处是高垂直分辨率。虽然粗糙的表面很难测量，但这一过程非常适合评估透镜和玻璃结构。
Focus-Variation
Focus-Variation不仅收集深度数据，而且还登记了表面的真实颜色信息。微观和纳米结构的粗糙度是基于轮廓和面积测量的。通过Real3D技术从不同的角度测量复杂的几何形状，然后将其组合成一个完整的3D数据集。Focus-Variation通过在一个系统中测量尺寸、形状、粗糙度和位置，缩小了典型三维坐标测量技术与经典曲面测量技术之间的差距。
与轮廓投影仪不同，轮廓不是测量的，而是组件的三维表面。虽然共焦系统和干涉仪只能在系统中心点附近的一个非常窄的波段上测量强度峰值或强度调制，Focus-Variation测量的是一个明显更大区域的锐度。因此，该技术对振动的容忍度更高。
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