从纳米标本获取数据,扫描电子显微镜使用电子波束确定的主要信号是反射电子和二级电子信号产生灰度图像 样本极放大还有很多其他信号,这些信号可能来自电子事件交互作用,这些信号可提供样本的进一步信息。
仙境世界展示分布式X射线分析文章中SEM工作
电磁交互
电子波束-事件交互作用生成各种信号,带不同细节样本(图1)。
例举 :
- Cathodoluminescence亚博网站下载可提供电子结构信息及材料化学组成
- 反射电子以对比创建图像并传递原子数差异信息
- 二级电子提供地形信息
- 传输电子可描述样本内部结构与晶体学另一种类型信号常用于SEMsX-Rays.
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图1显示电子-事物交互显示它的不同产品
EDXSEM分析原则解析
每一原子都拥有独特数量的电子,如图2所示,这些电子在正常状态下居于特定位置这些位置属于某些外壳,这些外壳有不同的分离能量
X光片制作SEM分二步过程
- 电子束点到样本 并传输部分能量到样本原子后能被原子电子使用 向能量壳跳转 或从原子反转电子留下一个洞 如果发生交替
- 第二,漏洞拥有正电量并因此从高能壳中吸引负电量电子高能外壳电子占用低能外壳洞时,转换时的能量差可用单形式释放X-Ray.
视原子数而定 原子数是每个元素的独特属性X射线能量归结于这两枚贝壳之间的能量差使用此方法 X光片指印并可用以确定样本中存在的元素类型
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图2X射线生成过程:1)转移能量原子电子击退它留下的洞2)它的位置由高能外壳的另一电子填充并释放特征X射线
EDX材料分析:X-Ray检测工作
不像SEBSETEX光片电磁辐射正像光线一样 由光子组成最新系统使用所谓的硅驱动检测器识别
SDD比标准Si(Li)检测器高端分辨率、高计数率和快速分析能力.检测器定位角极近样本,并计算出X射线下进光子的能量
越大样本和检测器之间的固角越高X光探测前景并转而获取最佳结果的概率
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图3典型EDX频谱:y轴描述计数数x轴X射线能峰值位置引导识别元素和峰值高度帮助量化样本中每个元素的集中度
EDX分析生成数据光谱峰值对应样本中各种组件图3中就是一例每一元素都广泛记录特征独有能量峰.
EDX可用质量学类型元素并量化性百分比单个元素样本分析多数SEMs有软件专用于自动识别峰值并计算每个元素原子百分比EDX技术非损定性技术,需要最小或免采样准备
选择SEM最贴切研究过程
EDX分析现已成为标准实践实用性保证它现在是SEM关键部分简单实验能让你知道样本内容SEM可帮助优化研究过程,执行更好的分析并节省时间选择正确的显微镜研究可帮助提高工作效率
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