VUV系统中的光源指南

有一系列的光源可以在真空紫外光谱系统中使用，尽管最常用的是同步加速器、自由电子激光器和激光产生的等离子体光源。下面将进一步探讨每一个问题。

同步加速器(SR)

同步加速器辐射设备可以将强大的连续辐射从微波(特别是驱动射频场的谐波)传送到x射线光谱区域。它们是由高能电子产生的，在存储环的磁场中向心加速。然后这些光束准准并偏振光。

图1所示。法国格勒诺布尔ESRF同步加速器

全球只有不到一百个同步加速器设施，尽管这是迄今为止建造的最强大的光源，也许也是最昂贵的。同步加速器设备体积巨大，每个设备的直径为几百米，由于其复杂的操作系统，可提供强大的超高真空环境。

自由电子激光器

的自由电子激光(FEL)是第四代同步加速器技术。这种类型的激光使用的电子被加速到光速，然后穿过一个极长的振荡器——一个由磁铁制成的线性阵列。因为磁体的极性改变，电子的路径就变成了正弦波。这就导致了辐射的产生。

自由电子激光与更复杂的同步加速器有许多相似之处，如功率、发射区域、尺寸和相对成本。此外，这些激光器可以调谐到从微波到X射线的光谱范围。

激光产生等离子体（LPP）

当一个强大的脉冲激光聚焦到一个固体目标上时，就会产生激光产生的等离子体。在这个过程中，产生了高密度（~1021 cm-3）和高温（50~100 eV）等离子体，仅存在几纳秒。

图2。uv -300等离子体放电源

某些目标材料会产生一个强烈的真亚博网站下载空紫外准连续谱，其中大部分是离散线，连续谱在4到30纳米区域更为强烈，但通常会达到180纳米。当使用元素周期表中的稀土元素或其邻近的金属时，这个过程提供了更好的结果。

与本文讨论的其他方法相比，LPP提供的发射范围有限，因此这些方法通常用于半导体工业（微光刻）和天文学。

电弧，火花和放电

许多VUV光源发射连续辐射和/或VUV线。这些是基于高压电弧、气体放电、低压和真空火花。

这些特殊的光源成本低，携带方便，但强度不如激光诱导等离子体或同步辐射。可供选择的方案包括：-

• Ar迷你弧:从近紫外到大约115 nm
• H₂和D₂放电:115~350 nm，取决于灯泡材料
• 惰性气体放电:He、Ar、Kr、Xe产生的等离子体放电主要覆盖20 ~ 700 nm区域。一些可用的设计是泵浦空心阴极，毛细管等离子体，彭宁或达马尼源。

．	．	．
氘	115 - 400纳米	连续宽带图片
氢	115 - 700纳米	连续宽带图片
氩Mini-Arc	115 - 700纳米	连续宽带图片
空心阴极	25 - 200纳米	等离子体发射图(气体相关)
等离子放电(气体相关)	20-700纳米	排放pics（取决于气体）

本信息来源、审查和改编自HORIBA Scientific提供的材料。亚博网站下载

有关此来源的更多信息，请访问HORIBA科学。