为什么你需要高真空的VUV系统

超低紫色范围以下的波长有几个不同的名称。然而，由于空气吸收到极少的纳米并且需要疏散环境实验的任何部分，这种特定的光谱范围被称为真空超紫（VUV）。

VUV区域被紫外(UV)光谱区域(200 nm)或硬x射线区域(约1 nm)的较长波长一侧所包围。有三个关键区域组成了特定的真空紫外线领域。这些都是:

• 远超紫（FUV）：200-120 nm
• 极端紫外（EUV）：120-10nm
• 软X射线(Soft X): 15-0.2 nm

每一个领域都有它自己的物理意义:-

远端120nm的远紫外线范围是指通过任何窗口材料停止辐射传递的自然屏障。X射线的光学器件具有差的反射率，这意味着它们需要使用高达170°的大偏差角，因此需要非常低的放牧角度。

图1。真空超紫色域。

在哪里真空超紫辐射它们至少可以部分地通过透明气体传播，如氢或氮，最理想的情况是，完全通过真空。

为了达到最好的结果，VUV分析需要使用高真空(~10^－6MBAR，10^－４Pa)级，通过超高真空(~10⁹MBAR，10⁷PA）。

VUV使用哪些单位?

能源

光子的能量E，频率n和波长λ是相关的：

E =Hν= HC /λ

电子伏转换：E（EV）= 1240 /λ（NM）

真空及真空元件

真空的质量与系统内剩余的颗粒数直接相关。yabo214其他因素包括煤气分子必须在彼此碰撞之前行驶的平均距离。这种特殊因素是真空水平本身的关键决定因素。通过泵送腔室增加分子之间的距离改善了真空的质量。

压力

帕斯卡(Pa)是国际压力单位(SI)。这就等于1 N/m2的力。CGS单元被称为Bar (Bar)是经常使用的，它也可以测量托尔(Torr)或大气压(Atm)的真空压力。

专业人士倾向于更喜欢虎牛（HPA）和毫巴（MBAR）等单位进行转换，因为这些更简单地转换为具有近似因素的陶器。下面突出显示的单元转换的近似值是最常见的。

真空系列

• 低(粗糙)真空大气压力为1mbar
• 培养基真空1至10^－3曼巴里
• 10 .高真空(HV^－3到10^－8曼巴里
• 10 .超高真空(UHV^－8到10^－12曼巴里
• 超高真空(特高压^－12曼巴里

大多数VUV应用程序可以在高真空水平下进行(10^－5到10^－6mbar或10.^－3到10^－４(Pa)，它的目标是一个非严格真空，因此留下电子、光和粒子的自由通道。yabo214这适用于薄膜的沉积、光谱发射、半导体和大多数通过吸收或反射方法获得的表征。

图2。高真空(高压)。

更专业的研究领域，如免费电子激光器或同步调节，电子科学或融合研究可能利用超高真空。亚博老虎机网登录这尤其如此，可能存在残留气体或分子引起污染的问题。

图3。超高真空（UHV）。

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