残余气体分析仪(RGAs)是一种紧凑的四极杆质谱仪，通常用于超高真空(UHV)应用中的过程控制和污染监测。在商业RGAs中，离子源组件和压差取样系统之间存在一些差异，但核心设置包括一个配备了电离器的探针和一个能够测量质量电荷比分辨率的探测器。使用这种技术，用户可以量化真空和真空过程中的残余气体或蒸汽，对真空环境的化学变化最小。
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希登rga分析通常用于执行控制或监控任务，如:
- 真空诊断包括泄漏检测，使用质量为4的氦(He)等搜索气体进行快速分析响应;
- 从研究真空室和真空炉中检测质量为2的脱气氢气，这可能影响最终真空条件的形成；
- 在超高压室内检测任何污染，在超高压室内使用各种碳氢化合物进行高灵敏度宽质量扫描，可以检测污染的存在
Hiden的RGA系列有三个规格级别：HALO；3F系列；和3F-PIC。尽管它们包含不同规格的组件，但每个模型都经过校准和测试，以确保以最大的精度进行示范性工作。RGA系列质谱仪具有50、100、200、300和510 amu的质量范围选项，可高速采集每秒650次测量的数据。当3F系列和3F-PIC RGA为实验室工作准备时，HALO最好用于过程控制和污染监测。
光环rga
HALO RGAs能够以高灵敏度测量分压值，跨越质量范围，实时监测多种物种。它的准确度是这样的，它可以检测到空气中的氦含量为百万分之五，比传统分析仪增加了五倍。这是一个无与伦比的泄漏检测精度水平，为用户提供了一个福音，在他们的真空室提高特高压质量。
HALO可以进行趋势分析和全面的真空测量，具有抗污染的离子源护罩，并完全消除零爆炸基线漂移。这使得在超高压环境中进行残余气体分析的侵入最小。
隐藏分析也提供HPR-30,集成工艺和残余气体分析系统，针对广泛工艺中的气体和蒸汽分析进行优化。
HPR-30系统
HPR-30系统可以直接进行分析，其灵敏度提高到100ppb，压力范围为10－4–1000毫巴。这种惊人的精确度非常适合于原子层沉积（ALD）和真空镀膜等应用中的过程控制和污染监测，这些应用要求控制绝对纯度，以确保纳米结构的沉积准确。
隐藏分析RGAs
Hiden Analytical在专用质谱仪的开发和制造方面拥有30多年的经验，其产品的应用范围几乎是无限的，为研究提供了信息，并确保了各个行业的高灵敏度过程控制。他们的RGA已经在各个部门实施，包括讨论真空环境中气体粒子密度的理论天体化学研究。yabo214
如果您想了解更多有关他们的RGAs的信息，用于过程控制和污染监测，请与他们联系。
这些信息已经从Hiden Analytical提供的材料中获得，审查和改编。亚博网站下载
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