对晶圆样品的电路模式检查

为了质量控制的目的,晶圆片,如半导体或平板显示(FPD)芯片,需要在显微镜下检查,以验证它们符合有关电路模式和颜色的规格。在常规显微镜下,亮场照明用于观察晶圆的颜色,暗场照明用于观察电路图案。为了在晶圆片上编制完整的质量控制报告,需要使用每一种技术获取图像,并在它们之间反复切换。因此,使用传统显微镜生成晶圆的质量控制报告是费时和低效的。

奥林巴斯的解决方案

奥林巴斯的MX63和MX63L工业显微镜配有混合照明设置,将BrightField和Darkfield图像一体地结合在一起。该功能提供了一种快速有效的方法,即检查FPD和半导体芯片,因为可以同时观察到颜色和电路图案,具有高分辨率,清晰度和清晰度。生成报告所需的时间较短。

产品特性

MX系列工业显微镜具有以下优点:

  1. 从开始到结束的更平滑的工作流程,通过多种可视化增强功能和优异的光学性能,在洁净室设置中保持不变
  2. 简单,易于调节的设置,如对焦,光强,孔径大小,支持和辅助显微镜的软件。即使是经验相对较少的技术人员也能在检查后产生高质量的观察结果。
  3. 卓越的清晰度和敏锐的焦点,高度精确的测量,源自奥林巴斯在建造高质量光学成像仪器的数十年经验
  4. 模块化设计与广泛的组件和附件提供了定制显微镜的可能性,以满足用户的具体需求,而无需大量投资

产品使用

对晶圆样品的电路模式检查

奥林巴斯MX 63和MX 63L显微镜可提供可靠的晶片尺寸的晶片,以及印刷电路板,平板显示器和带电路的其他大型零件。灵活功能,以及具有直观控制的符合人体工程学设计,可确保MX63和MX6L显微镜舒适且易于使用。模块化设计使得设计系统可以在最佳条件下观察一系列物体。当MX63和MX6L显微镜与Olympus Stream一起使用时®图像分析软件,可以简化检查程序和某些设置自动化,使整个过程更快、更高效,从观察到最终报告的创建。

此信息已被采购,从美洲科学解决方案集团奥林巴斯公司提供的材料进行审核和调整。亚博网站下载

有关此来源的更多信息,请访问奥林巴斯公司的美洲科学解决方案集团。

引用

请使用以下格式之一在您的论文,纸张或报告中引用本文:

  • APA

    奥林巴斯科学解决方案美洲-工业显微镜。(2019年10月23日)。对晶圆样品的电路模式检查。AZoM。于2021年6月24日从//www.washintong.com/article.aspx?ArticleID=15616检索。

  • MLA

    奥林巴斯科学解决方案美洲-工业显微镜。“晶圆样品上的电路图案检查”。氮杂.2021年6月24日。

  • 芝加哥

    奥林巴斯科学解决方案美洲-工业显微镜。“晶圆样品上的电路图案检查”。AZoM。//www.washintong.com/article.aspx?articled=15616。(访问2021年6月24日)。

  • 哈佛

    奥林巴斯科学解决方案美洲-工业显微镜。2019年。对晶圆样品的电路模式检查.Azom,于6月2021日浏览,//www.washintong.com/article.aspx?articled=15616。

问一个问题

关于这篇文章,你有什么问题想问吗?

离开你的反馈
提交