化学蒸发存储-介绍

题目覆盖

后台

CVD进程类型

CVD如何工作

迭代特征

CVD系统

能源源

预告者

亚博网站下载典型预感素材

亚博网站下载CVD进程可制作的材料

CVD天然气产品

应用

后台

化学蒸发沉降或CVD泛称一组过程,从气相沉积固态物,在某些方面类似于物理蒸发沉降

PVD不同之处在于先质固化,存储物从固目标蒸发并沉入基底

CVD进程类型

CVD覆盖过程如:

·气压化学蒸气沉积

·低压化学蒸发存储

·金属有机化学蒸发存储

·Plasma辅助化学蒸发沉积或PECVD

·激光化学蒸发存储

·光化Vapour沉积

·化学蒸气渗透

·化学束Epitaxy

CVD如何工作

预感气体(常稀释载量气体)在约环境温度下投送回反应室传递或接触加热基质时,反应或分解形成固相并沉入基质基底温度至关重要并会影响反应发生

迭代特征

CVD涂层典型化:

·精粒化

·隐蔽性

·高纯度

·亚博网站下载硬于使用传统陶瓷制造过程制作的类似材料

CVD涂层通常只有几微米厚,通常沉积速度相当慢,通常是每小时几百微米排序

CVD系统

CVD设备由几大基本组件组成

·气流系统-向反应堆机房提供先质

·堆室-沉降室

·基础加载机制-系统引进和清除子串、mandrels等

·能源源-提供获取先质反作用/分解所需要的能量/热量

·真空系统-除反应/沉降所需外所有其他气体种类系统

·穷竭系统-从响应室清除挥发性副产品系统

·穷竭处理系统 — — 在某些情况下,废气可能不适合排入大气,可能需要处理或转换为安全/无害复合物

·app亚博体育过程控制设备-高治控件等监控过程参数,如压力、温度和时间报警安全设备也将列入这一类别

能源源

有几种合适的热源CVD进程其中包括:

·阻抗加热等管炉

·辐射加热类卤素灯

·无线电频率加热等感应加热

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·激光器

其它能源可能包括紫外线或激光作为光能源

预告者

亚博网站下载素材沉积气态CVD因此CVD过程先质必须易挥发性,同时稳定到能够交付到堆

一般来说前体化合物只能为沉积物提供单元分量,其余则在CVD过程期间挥发但有时先质可能多提供一种以上亚博网站下载此类材料简化送货系统,减少生产特定复合物所需的反应器数目

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亚博网站下载CVD前体材料可归为若干类,例如:

·Halides-ticl₄.acl₅WF₆等类

·Hydrides-SiH₄GEH₄ALH₃内美市₃)₂.NH₃等类

·金属有机化合物-

·金属 Alkyls-ALME₃Ti-CH₂tBO)₄等类

·金属高氧化物-Ti(OiPr)₄等类

·金属 Dilylamide-Ti₂)₄等类

·金属Diketates-Cu₂等类

·金属碳化物-Ni₄等类

·包括多类金属有机化合物、复合物和ligands

亚博网站下载CVD进程可制作的材料

CVD是一个极多功能过程,可用于处理几乎任何金属或陶瓷复合体其中一些包括:

·要点

·金属合金

·卡比德

·Nitrides系统

·波里得

·氧化物

·混合复合物

CVD天然气产品

CVD过程经常被忽视的副产品是挥发性气体但这些气体可能有毒性、易燃性或腐蚀性,因此必须适当处理

离气分析还可加深理解CVD反应机制以及用于精化过程的信息

应用

CVD应用范围广,例如:

·装饰-各种应用编码,如穿戴阻抗药性、腐蚀抗药性、高温防护性、侵蚀防护性及其组合

·半导体和相关设备-集成电路、传感器和光电设备

·密集结构部件-CVD可用传统制造技术生产难或非经济性组件通过CVD生成的密度部件通常薄墙并可能沉入mandrel或drel

·光纤-电信用

·复合物-前型可用CVD技术渗透生成陶瓷矩阵复合物,如碳化碳、碳化碳和碳化碳合成物这一过程有时被称为化学蒸气渗透或CVI

·粉末制作-小说粉末和纤维制作

·催化器

·纳米机

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