图片来源:FM Callahan
随着电子元件和电子产品整体尺寸越来越小,越来越复杂,这些元件上的金属镀层必须被镀在更小的部件上(例如,更薄的层),并调整到更紧的公差。如果镀层很薄,则产品将无法满足性能规格,并可能提前恶化,导致声誉损害和保修索赔。非常厚的镀层导致金钱和材料的浪费,甚至可能导致机械配合的困难,可能导致返工或昂贵的废料。亚博网站下载
x射线荧光(光谱仪)该方法简单、快速、无损,广泛应用于涂层厚度和成分的测量。为了测量较小特征上的涂层,传统XRF仪器使用机械准直,将x射线管的束尺寸减少到1毫米。为了达到这一目的,在试管前面放置一个钻有小孔的金属块,这样只有与小孔对齐的x射线才能通过并击中样品。x射线管的绝大多数输出无法用于分析,因为它被准直块挡住了。
使用多毛细管光学是测量精细特征的最新策略。多毛细管光学是一种由锥形和弯曲的小玻璃管阵列组成的聚焦光学。与光纤技术中光的引导类似,x射线通过反射通过管。该多毛细管光学系统与一个微点x射线管相匹配,以收集管输出的大部分。这使得它聚焦于通量比机械准直系统高出许多数量级的更小的区域。在XRF涂层分析仪中使用多毛细光学有许多优点。
较小的特性测量
小于20µm的光束尺寸的多毛细管光学系统可以测量晶片、引线框架、连接器、高级电路板和微电子上的超细特性。这使得测量无法通过机械准直仪测量的区域成为可能。
薄涂层测量
XRF分析仪集成了多毛细管光学聚焦更多的x射线管输出到样品上,从而测量纳米级涂层。
以更高的信心增加测试吞吐量
由光学产生的更高强度导致更高的计数率。在XRF的情况下,较高的计数率与快速的结果和提高的精度有关。这使得在给定的时间内可以进行更多的测量,并保证更好的结果,从而更紧凑的生产和更好的质量控制。
更容易符合规格
通过ENIG(化学镍/浸没金)和ENEPIG(化学镍/化学钯/浸没金)分析的性能规范IPC-4556, XRF应用于测量和调节光洁度厚度。这些测试必须在确定的容许范围内显示性能水平。毛细管光学的应用使它更容易实现这一性能水平。
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