薄膜电池沉积系统的研究

的电池可以追溯到18岁后期^th和早期的19^th世纪，无疑为当今科技的发展做出了贡献。在过去的一百年里，我们看到了各种各样的电池化学和结构，从使用Cu和Zn电极的伏特的基本电化学电池，到使用锂氧化物阴极、固体电解质和石墨阳极的现代薄膜电池。

锂离子电池作为电池的主要技术平台。这是因为锂离子技术比其他电池化学试剂具有更优越的性能。这些特性包括高能量密度(~250 Wh/kg)和最小记忆效应。

随着更新、更复杂、因此更耗电的技术的发展，对安全、轻量和持久的电池的需求从未像现在这样强烈。因此，预计未来10年锂离子电池市场将增长至少500亿美元(美元)。薄膜电池市场尤其受到可穿戴、可移动和基于物联网(IoT)技术的强劲需求的推动。

薄膜电池结构

薄膜电池名副其实;阳极、阴极和电解液的厚度为0.001毫米。它们通常通过热蒸发和溅射的物理气相沉积来沉积。

基于锂薄膜电池原理图

由于对电池技术的标准性能指标的要求越来越高，研究阳极、阴极和电解质材料的研究已经主导了当前的研究，因此，我们对这些材料的理解迅速发展。亚博网站下载复杂的锂氧化物，如LiCoO₂,描写₂O₄, LiFePO₄，通常用来形成阴极。相反，阳极通常由石墨或金属锂等碳基材料组成。亚博网站下载

阴极和阳极材料是层状结构，在保留其结构的同时亚博网站下载插入和脱插锂。在薄膜电池中，电解质是固态的，必须是有效的离子导体，良好的绝缘体，并应生产出重量轻、寿命长、安全的电池。最终，这是由所使用材料的组合决定的。亚博网站下载虽然电解质通常由锂磷氧氮化物(LiPON)制成，但研究表明，陶瓷如锂镧氧化锌(LLZO)和锂镧钛氧化物(LLTO)可能是更有效的材料。亚博网站下载

埃斯特罗姆工程电池沉积系统

Angstrom Engineering提供了他们的电池沉积系统，可以用于各种电池材料的沉积，包括锂的热蒸发、陶瓷和锂氧化物的溅射。亚博网站下载

这个功能齐全的系统是为合作伙伴定制的，集成了专用锂热蒸发，锂氧化物多源溅射，和快速热加工到超高纯度氩气环境，提供理想的工艺灵活性，易于材料处理和安全。亚博网站下载

Angstrom工具可以与手套箱结合，因此基底和材料的处理可以在惰性气氛下实现。最终，这些系统能够满足一系列独特的工艺要求、材料处理的方便性和安全性。亚博网站下载

该信息的来源、审查和改编来自Angstrom Engineering提供的材料。亚博网站下载

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