低加速电压的成像陶瓷

由于它们的各种特性,陶瓷材料被用于广泛的应用领域。亚博网站下载总体而言,陶瓷被认为是具有高温电阻率和强大机械性能的材料。亚博网站下载但是,陶瓷材料也可以显示,例如生物亚博网站下载学,光学或电性能。陶瓷的性质受到孔隙度,晶体学或化学成分的极大影响。因此,它们在许多不同的区域中使用,从磁盘制动器,轴承和研磨材料到生物植入物或喷气发动机涡轮叶片的涂料。亚博网站下载

成像陶瓷

通常,陶瓷材料是出色的电气和热绝缘亚博网站下载子。这些特性使陶瓷的SEM成像更具挑战性。使用低电子束能量成像具有减少充电伪影的非涂层绝缘材料的方法之一。亚博网站下载由于横梁相互作用较小,因此表面灵敏度提高是一个额外的好处,从而导致更高的空间分辨率。反过来,这使得表面特征,例如小毛孔,晶粒结构,纳米大小的表面特征或薄污染表面层,请参见图1(右)。但是,使用常规的扫描电子显微镜(SEM),很难在低光束能量下图像而不会影响图像质量,因此需要更复杂的电子光学和检测系统。

带有E-T检测器的陶瓷样品,用于地形和材料对比度。左侧的陶瓷样品在2 KEV处成像。将右侧的陶瓷样品成像为500 eV,以增强表面灵敏度。

图1。带有E-T检测器的陶瓷样品,用于地形和材料对比度。左侧的陶瓷样品在2 KEV处成像。将右侧的陶瓷样品成像为500 eV,以增强表面灵敏度。

Tescan S8000显微镜

这些要求已通过新的要求Tescan S8000显微镜。它配备了新的BrightBeam™SEM柱技术,其目标是宽场光学™和静电磁性镜头的组合。BrightBeam™色谱柱通过光束引导电位实现了无现场的超高分辨率(UHR),该电势可以移动主梁的能量,而镜头的静电部分减速并聚焦光束,并通过驱动电子来帮助增强信号收集进入列。这可以最大程度地减少畸变,因为光束聚焦在较高的能量上。

镜头的设计增强了分辨率,尤其是在低光束能量下,使Tescan S8000显微镜是解决纳米结构并检查细腻样品的理想仪器,因此可用于纳米镀膜陶瓷。该色谱柱配备了强大的检测系统,该检测系统由具有角度选择和能量过滤功能的梁内检测器和E-T内检测器组成。电子柱的设计即使在超低(例如500 eV)光束能量 - 小光束斑点尺寸启用解决纳米尺寸特征的状态,也可以确保高信号吞吐量。

此外,Tescan S8000显微镜附带多探测器- 功能强大且多功能的检测器,具有过滤网格,转换表面和有偏见的闪烁体,可允许通过窄角电子的能量过滤收集。

可以将滤网设置为定义的偏差潜力,以过滤某些电子信号并在定义的范围能量窗口内收集电子,其宽度可以调节以探索纯形地形的不同类型的对比度(见图2)(仅SE信号)到材料(仅BSE)或一个极狭窄的能量窗口,以实现最终的表面灵敏度和低损坏的BSE成像。还可以使用过滤能力来最大程度地减少成像过程中的充电伪像,因为仅滤除了所选能量谱的一部分。

与多探测器一起成像的陶瓷样品在500 eV下成像,其中已设置了能量过滤网格仅检测BSE信号。

图2。与多探测器一起成像的陶瓷样品在500 eV下成像,其中已设置了能量过滤网格仅检测BSE信号。

Tescan USA Inc.

Tescan由特斯拉的一组经理和工程师创立,其电子显微镜历史记录从1950年代开始,如今,Tescan是全球著名的聚焦离子束工作站的供应商,扫描电子显微镜和光学显微镜。Tescan的创新解决方案和与客户的合作性质在纳米和微技术领域赢得了领先地位。该公司很荣幸能与一系列科学领域的著名机构一起参加主要的研究项目。Tescan就价值,质量和可靠性为客户提供了领先产品。Tescan USA Inc.是Tescan Orsay Holdings的北美部门,该公司由捷克公司Tescan合并成立,Tescan的合并是SEMS和专注的离子Beam Workstations的全球领先供应商,法国公司Orsay Physics,是定制定制的世界领导者聚焦离子束和电子束技术。

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    Tescan USA Inc. 2019。低加速电压的成像陶瓷。Azom,2021年8月28日,https://www.washintong.com/article.aspx?articleId=15347。

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