什么是FIB-SEM纳米制造?

聚焦离子束(FIB)系统，主要是集成聚焦离子束和扫描电子显微镜(FIB- sem)，广泛用于一系列分析任务和样品制备。这些是集成了扫描电镜和FIB柱的双束系统，其中扫描电镜是用于高分辨率成像的优先方法，可以与许多探测器如:背散射电子(BSE)，能量色散x射线(EDX)，或二次电子(SE)补充。

大厅酒吧结构上的3D狄拉克半金属Cd_3.作为₂；张恩泽，复旦大学，中国图片来源:Raith

FIB在样品制备或横切方面支持这些应用，从而扩展到三维或样品的超薄部分。三维成像可以实现更高的分辨率，也可以用于其他显微镜，如透射电子显微镜(TEM)或原子探针层析成像(APT)。APT针尖或TEM片层的制备已成为FIB-SEM的关键应用之一。此外，同时进行SEM成像和FIB切割可以实现纳米分辨率的3D层析成像和复杂结构的重建。

最后，通过额外的功能，如气体注入或现场电探测，aFIB-SEM显微镜是纳米电子、生命科学、材料科学等领域的显微镜和分析的真正多面工具。亚博老虎机网登录

FIB-SEM奈米制造

FIB显微镜被越来越多的快速原型应用所广泛使用。作为其他光刻技术的理想合作伙伴，FIB纳米制造提供了必要的优势，如3D，直接和无电阻的图案。尽管在许多情况下FIB研磨比电阻加速过程慢，但总体纳米制造方法的相对简化有助于更快地获得科学结果。气体辅助蚀刻、沉积和铣削等方法是直接加工新材料的特别有效和通用的方法。亚博网站下载

为了扩大FIB-SEM显微镜的板载能力，实现更多多面设备和形状的自动化纳米制造，可以使用纳米光刻升级套件。ELPHY多光束提供了一个先进的软件包软件系统和图案发生器的额外能力，而不减少显微镜的原始成像和分析功能。因此，通过连接ELPHY多束，任何FIB-SEM都可以延伸到纳米制造系统。

将你的FIB-SEM变成一个纳米制造工具，连接一个ELPHY多束。图片来源:Raith

聚焦离子束纳米制造

ionLINE Plus是一种关键的FIB纳米制造工具，通过将各种FIB处理方法与光刻系统的所有优点相结合，它提供了无与伦比的稳定性、高分辨率和多功能性。的ionLINE Plus FIB系统基于成熟的光刻系统，特别是激光干涉仪平台，以FIB为主要方法。

ionLINE Plus除了在FIB中的优势外，还提供了无与伦比的稳定性和准确性，可用于真正不间断的书写、野外拼接和大面积样本导航。这种独特的功能可以应用于先进的纳米制造:

• 小批量用于膜或NEMS设备，如纳米孔
• 扩展三维结构，如微流控混合器
• x射线区域板，或任何复杂的图案在坚硬的材料亚博网站下载
• 具有最佳放置精度的大面积光栅
• 具有许多优良特性的阵列，如电浆子纳米天线

此外，FIB技术已经扩展到镓以外的领域，可以将许多可选择的离子递送到纳米尺度的聚焦离子束中。这些离子包括金或硅，具有开创性的离子注入、功能化和低污染过程的潜力，为许多尚未研究的纳米制造方法铺平了道路。

应用实例FIB-SEM

基于Hall bar和FIB器件的Cd_3.作为₂纳米带样品(张恩泽，复旦大学，中国)。图片来源:Raith

等离子体环(Thomas Loeber, TU Kaiserslautern，德国)。图片来源:Raith

Cd_3.作为₂王维义，复旦大学，中国图片来源:Raith

产品

ionLINE +

卓越的FIB纳米制造技术

客户可以选择ionLINE Plus来解决他们的纳米制造问题，并最终从成熟的光刻体系结构和聚焦离子束的协同中获益。使用所有通用的FIB方法，ionLINE Plus支持最大分辨率的3D和直接模式。

图片来源:Raith

ELPHY多波束

解锁SEM, FIB-SEM或HIM的完整纳米图案电位

ELPHY多波束是完美的解决方案，因为它支持目前的FIB-SEM, HIM，或最先进的纳米光刻的SEM。它包括所有广泛的多功能纳米图案功能，并提供最大的放置分辨率和精度。

图片来源:Raith

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