氧在SEM等离子体清洗设备中的应用app亚博体育

在过去，SEM的最佳使用意味着要烘烤色谱柱，在处理样品时要小心戴手套，但随着特征尺寸的减小，这可能不够。

在SEM真空室中碳氢化合物的积累可能导致分辨率不理想。电子束与污染物发生反应，然后在样品上沉积碳，导致样品充电并降低图像对比度。传统上，氧气等离子体被用来在真空中清洁表面。O₂分解成氧离子和自由基，有效去除有机污染物。

低能等离子体清洁器

制造商已经生产出能从“稀薄空气”中清除氧离子和自由基的低能等离子体清洁剂。虽然这看起来像是“万金油”，但它确实有效。尽管这种方法非常慢，但它确实有效，设置很少，而且很容易使用。一个“脏的”系统将需要几天甚至几周的初始清理。

的Evactron^®De-Contaminator改进为使用焊接级氧气。所进行的调查表明，在速度和有效性方面有昼夜的比较。与连续几周使用环境空气相比，一到两个四小时的有氧运动效果更好。

图1所示。氧气罐附在真空净化器低能等离子体清洁器上。红色油管将瓶/调节阀连接到真空发生器的进气口。

图2。4小时氧气等离子清洗室前(左)和后(右)。

工作原理

等离子体的工作原理是将气体原子转化为自由基和离子。气体原子在高频磁场的作用下剧烈振荡，打破化学键并发出荧光。然后自由基和离子完成所有的工作。氧离子和自由基是非常有效的清洁剂。在清洗过程中，氧自由基和离子在扫描电镜下与烃类发生反应。这些反应产生一氧化碳₂， CO和H₂然后由真空泵从系统中排除。

当使用空气作为工艺气体时，除了氧离子和自由基外，还会产生氮离子。氮离子有助于清洗过程，也与氧离子和自由基重新结合。然而，由于空气中70%是氮，长寿命氧反应物种的概率较低。当它们的寿命减少时，它们的平均自由路径也会减少，使得远离等离子体的清理变得不太可能。当使用氧气作为工艺气体时，没有捕食性氮的阻碍。由于氧离子和自由基受到的限制较少，它们可以移动得更远，清理得更好。

结论

了解低能等离子体系统如何转化为与氧气一起工作是一件有趣的事。去了一趟焊接供应商店，生产了一个调节器和一瓶O₂．XEI Scientific已经准备好开始使用一些油管和配件。随着调节器就位，瓶子被打开，调节器几乎不被打开，以产生一缕恒定的氧气流。一旦管道连接到等离子体系统的泄漏口，就可以开始了。

参考资料及进一步阅读

1. 显微镜与显微分析，2002
2. 伊莎贝尔(T.C. Isabell)和费奇隆(P.E. Fischione)，等亚博老虎机网登录离子体科学，1998。
3. http://en.wikipedia.org/wiki/Plasma_cleaning

这些信息已经从XEI Scientific提供的材料中获得、审查和改编。亚博网站下载

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