高分辨率仪表可允许选择添加振动取消电机和惯性传感器,将被动空气隔离器转换为主动空气隔离器虽然这种方法能取消空气隔离器放大作用,但剩余频谱的隔离作用不大
另一种方式是支持全工具在派索驱动主动振动隔离平台上使用,在此平台下,动能启动器与支持有效载荷的泉水相串联,两个分离阶段转移函数相加与向被动系统添加主动控件相比,双级被动反作用法提供远优振动隔离
亚博网站下载纳米精度需求在许多研究制造领域变得越来越重要,如激光/光系统应用、微电子制造、材料、生命科学和生物研究等其结果是,越来越需要开发改良振荡隔离技术,允许在极精密需求下操作仪表
被动充气振荡隔离是稳定产业和学术界最关键微工程仪表的基础,但证明不足以隔离极低频振荡,对原子级解析法的仪表工作有负面影响。
多因素可引起震动影响高分辨率子微量仪表风扇、电梯、水泵和供热通风系统是一些机械装置,在楼内产生振荡app亚博体育定义敏感仪表从这些振荡源的距离和构造中设备的确切位置将判定设备受强度影响
app亚博体育楼外设备可能受各种源的振动影响,例如邻近建筑、邻近公路交通、飞机以及风景和其他天气条件可促进结构运动外部和内部作用诱发1.0Hz至50Hz范围低频振荡,通过结构传播并扰动精度仪
充气振荡隔离系统中,低频振荡可能无法充分补偿并传递到工具敏感部分,影响图像质量、分辨率和数据完整性频率小于10赫兹时,充气隔离器垂直提供有限隔离,横向提供甚至少得多隔离此类隔离器可实际产生振动隔离问题
同时,所有隔离器以共振频率放大并开始隔离高于此频率充气隔离器放大通常范围为1至4赫兹,因此内部隔离生成敏感工具会发生振荡问题
进一步赋税单机功能呈增长趋势,即定位高度敏感仪表电子显微镜、扫描隧道显微镜、激光插图和光学剖面器-建楼高位如上层
振荡式环境对高敏度仪表定位越来越常见,需要比工具内部充电隔离系统更好的振动隔离解决方案,这些系统设计对象小于重振荡环境
内部被动空气隔离器转换为主动控制空气隔离器
高振荡点内气隔离器不足,工具制造者很可能设计升级路径-即选择将工具的被动隔离系统转换为主动控制系统
选择似乎有吸引力,因为空间效率将主动受控系统定位于工具本身内,而不是要求工具支持振荡隔离平台震动隔离性能稍有改善,当内部被动空气隔离器转换为主动受控空气隔离器时
安装取消电机和惯性传感器以转换主动空气隔离器传感器添加到有效载荷中测量X、Y和Z矢量振荡,并输入控制器控制器转而指令通过启动程序来取消有效载荷运动主动回推控制系统持续监控有效载荷并基于所测振动数据改变输出
产生并行型主动隔离系统,因为动力启动器与支持有效载荷的泉水并行共振空气解析器1至4赫兹通过主动振荡控制反向空气解析器抑制
空气解析器性能通过主动取消提高,但在1至50赫兹剩余频谱上没有多加隔离升级为并行主动隔离不会大有裨益,除非需要改善振荡隔离限制在1-4赫兹范围
问题楼震波频率范围通常为1-50赫兹表示对被动隔离器的任何增强应在此范围执行结构共振对主动控制系统构成问题主动控制传感器定位于隔离有效载荷上,因此难以区分仪器结构共振和环境振荡
主动控制传感器应变调(低增益)以避免产生反馈循环不稳定性然而,这一过程将传感器性能限制在窄频域
内部被动隔离器支持Piezo-Driven主动隔离平台
支持全工具并用主动振荡隔离平台替代并更好地解决安装内部被动隔离器的相当无效并行式主动振荡隔离法在一个主动振动隔离平台中,强制启动器顺序与支持有效载荷的泉水相匹配,两个隔离阶段的转移函数也是添加式
相较于主动控件整合为被动系统,这种两级被动反作用法提供更好的振动隔离
图1内部并行式活动系统对串式派索驱动活动平台
与2赫兹空气隔离器升级为2赫兹主动标注2赫兹空气隔离器相比,堆放法将提供30分贝多达10赫兹串行方法可叠加使用,并行类型方法不可叠加并涉及技术风险
串行配置使用精电驱动器和僵硬被动弹簧,使系统完全僵硬性极高主动加载系统比平时充气系统强100倍硬堆提供的一个关键利益是软系统,包括并行充气系统或被动充气系统,可堆置硬平台而不连接两个系统归结于共振频率大相分离
串行式控制系统不感应有效载荷运动,而只感知楼面运动因此,在串行式系统中,稳定性和振动取消性能不受有效载荷运动或共振波和反射波序列型系统内在稳定
透过硬弹性电站传感器与有效载荷脱钩并检测仅地面振荡测量振荡后通过压电驱动器取消结果,地面振荡测量和由此产生的反馈取消努力不受有效载荷运动或共鸣的影响。
批量自转隔离器使用极能实现极低频性能PZT高僵硬化堆栈,内含专用PZT陶瓷迭电层层结构
电压应用时陶瓷长度发生重大变化允许使用启动器快速高强度实时定位控制纳米级亚博网站下载与传统驱动器相比,PZT材料提供极精度性能,多亏其固态性质
性能显示
串行式自转系统能保持主动振荡隔离0.6至150赫兹串行式充电-被动充电组合-串行式反转用系统提供广频范围取消功能,大大超过主动除试器或被动除试器可分离实现的功能
0.6至4赫兹射程中,串式自转系统性能有效消除受式系统引出放大垂直和横向振荡减少50%以上1赫兹和90%以上2赫兹以上频率
图2典型转移函数阴暗区表示安装工具时性能提高,用内部异步器安装在派索驱动主动注销平台上,与安装并行型电动空气主动注销有效载荷和安装地面工具相比
多精度仪中楼层振荡标准应满足获取性能规范网站无法满足这些需求时,工具应移到另一网站或应用适当的振荡隔离法串式被动反作用系统广频提供高效振荡隔离解决方案,允许内部被动空气隔离工具部署环境否则会太吵无法有效操作
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