亚博网站下载纳米尺度亚博老虎机网登录材料科学-纳米复合材料的测试

主办单位飞腾工具公司2017年1月24日

为了提高微结构的性能和可靠性，必须准确了解其机械性能。纳米压痕为测量小结构或薄膜的几何无关材料特性提供了一种标准化方法。通过精确测量微观结构的几何形状，可以测量整体机械性能。

如果可以直接在结构本身上计算微观结构的力学行为，则可以使用另一种方法。然而，由于各种结构类型、形状和尺寸的广泛范围，这就需要一种适合所有这些不同结构要求的高度通用的仪器。

此外，微观结构通常具有动态作用，例如在涂层、执行器或传感器中。这种活性微结构的例子包括干胶粘剂、超疏水表面、电活性聚合物驱动器或微胶囊。为了定量地了解这些活动的微观结构，它们的行为不能被精确地建模，而应该在微观结构水平上进行量化。

FT-MTA03微机械测试与装配系统是最通用的微机械测试系统，能够对微结构的力学性能进行完整的分析。本文概述了一系列测试原则和应用程序。

微材料杨氏模量鉴定的纳米压痕法

FT-MTA03提供力控和位置控纳米压痕，可用于小体积的局部材料测试。在加载过程中，可倾斜显微镜可以实时观察样品。

FT-MTA03的宽位移范围加上低力感应能力，使其成为软材料表征的完美工具。在实验中，PDMS样品用球形尖端缩进。除了标准材料参数外，还提供了不同材料模型的原始力位移时间数据。

本文介绍了用于可调谐微光学的纳米金刚石和氮化铝薄膜的测试。计算了薄膜的刚度和形貌。右上图为微膜的形貌，右下图为微膜的刚度分布。左下角的图是通过膜的中央部分的刚度图的横截面。

微技术的进步使得制作非常小的高纵横比结构成为可能。这种微型化导致了机械和尺寸变形的增加。FT-MTA03能够测量微观结构的力学性能和尺寸，以优化制造工艺。(设备提供:Prof. Ionescu, Nanolab, EPFL)

在微制造工艺开发过程中，大量的工艺参数影响着MEMS结构的力学性能。在此应用中，使用FT-MTA03微机械测试和装配系统检查了一系列MEMS挠曲的平面外刚度和平面内刚度。

通过定义目标刚度的下限和上限，生成切屑图以检测工作挠曲（绿色）和超出所需规格（红色）的挠曲。识别出带有裂纹（低刚度）或未从晶圆上正确放电（非常高刚度）的挠曲。通过绿色与设备总数的比率来计算产率是很简单的。

导电或共轭聚合物作为新型微加工器件(包括传感器和驱动器)的智能材料，正受到广泛关注。亚博网站下载在此应用中，测试了束流型电活性聚合物(EAP)作动器的驱动力、偏转范围和时间响应。

当束状微致动器夹在两个电极之间时，驱动信号可用于驱动微致动器。顶端的图显示了EAP致动器光束尖端对致动电压的最大挠度。下图显示了EAP驱动器产生的驱动力和方波驱动信号与时间的关系。

这些信息来自于FemtoTools AG提供的材料。亚博网站下载

有关此来源的更多信息，请访问飞腾工具公司．

请使用以下格式之一在您的论文、论文或报告中引用本文：

美国心理学协会
FemtoTools AG)。(2019年6月04)。亚博网站下载纳米尺度亚博老虎机网登录材料科学-纳米复合材料的测试。AZoM。于2021年10月07日从//www.washintong.com/article.aspx?ArticleID=13507检索。
MLA
FemtoTools公司。“纳米亚博网站下载尺度上的亚博老虎机网登录材料科学——测试纳米复合材料”。亚速姆. 2021年10月7日.
芝加哥
FemtoTools公司。“纳米亚博网站下载尺度上的亚博老虎机网登录材料科学——测试纳米复合材料”。亚速姆。//www.washintong.com/article.aspx?ArticleID=13507. （查阅日期：2021年10月7日）。
哈佛
FemtoTools AG)。2019.亚博网站下载纳米尺度亚博老虎机网登录材料科学-纳米复合材料的测试．AZoM, viewed september 21, //www.washintong.com/article.aspx?ArticleID=13507。