空降分子对空空气
亚博网站下载消费者要求电子产品提高性能,对精度工程和质量子组件和基于硅的材料如硬盘驱动器的需求增加
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半挥发性有机化合物的存在空气分子污染物可对这些组件性能产生消极影响挑战AMC包括抗氧化剂、增塑剂(如phthalates)、Amines和aides、siloxanes、阻燃剂和有机磷酸盐
亚博网站下载AMC的主要来源之一是材料排气,这些可能包括:
- 计算机组件
- 建筑产品清洁室使用,包括塑料
- 分片空气滤波
- 亚博网站下载消耗品如磁带、服装、手套和清洁材料
- 人民党
AMC以蒸发形式穿透大多数标准微粒空气过滤器,导致其在清洁室环境的存在亚博网站下载技术行业,特别是半导体制造厂家监测SVOC净化室空气并减少清洁室使用所有材料和产品的排放非常重要。
亚博网站下载第一道防线是所有清洁室材料都由硬盘驱动器制造商预筛除SVOCs150摄氏度,调用'冷凝'和amines
标准方法
2013年6月发布指南亚博网站下载VDI2083-17A技术-材料兼容性定义标准方法使用微切片亚博网站下载清室适配材料分类符合VOC排气特性
亚博网站下载指南还包含数据库选择和比较材料,并成为所有参与清洁机规划操作工程师帮助估计全挥发性有机化合物预测水平的有用工具
同时,ASTMF1227和ASTMF1982等以前使用过的方法已被撤销,SEMI国际标准即微电子产业全球行业协会已着手发布两种相似方法:
- SEMIE108-0307:用气相色谱/质谱法评估小型环境排气有机污染测试法
- MF1982-1110:用热解吸气色谱分析硅片面有机污染物测试法
直接间接排气
广泛使用下列方法评估排气
- 直接排气亚博网站下载- 包括评估在固定条件(时间、温度、气流等)下从组件或材料完全排气可以通过测量重量损耗实现,或为定性和定量识别释放的复合物,可直接热解吸GC-MS
- 间接排气-这涉及到分析'Witness wifers'-空硅rafers
Marks能提供
app亚博体育设备监控清洁空气
清洁空气可用泵采样例行监控吸附管后由TD-GC-MS分析
app亚博体育确定材料排气设备
亚博网站下载在许多行业中,清洁室使用的材料排气量越来越大,在航空航天、光电和半导体行业规划阶段通常界定最大允许VOC污染水平(根据VDI2083-17A或ISO1464-8)。
亚博网站下载清洗室或最后产品使用的材料可用两种采样方法筛选:
- 亚博网站下载评估批量材料代表蒸气剖面- 本技术使用Markes微信机/热提取器并包括在微信机中安装素量微机加热时应用气流并释放蒸发器后用吸附管收集供TD-GC-MS分析大约6个样本可每小时采集,结果可与参考方法相关联,使其成为快速排放筛选理想工具
- 穷竭采样直接解吸技术很简单 需要将小量样本放入空TD管管子随后加热,蒸发器由TD-GC-MS分析(例如使用UNITY-Xr或DT100xr从Markes取热解析器)
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