EDAX低能x射线光谱仪(LEXS)是一种波长色散光谱(WDS)光谱仪，由能够执行平行光束操作的x射线光学组成。高收集光学提供高效率分析轻元素，特别是O、B、N和C，具有从80 eV到2.4 keV的完整操作范围。
本文讨论了用LEXS检测钢中碳化物层中轻元素的方法。
应用程序
为了了解不锈钢上硬质合金层的成分和分布，需要高精度的x射线数据采集进行量化。
光谱仪的条件
用于WDS应用的光谱仪是LEXS。用少量的纯元素确定了碳化物标准序列，以便对待测碳化物进行定量分析。所有样品均采用20 ~ 25 nA的束流和10 kV的加速电压进行测量。
在基思利皮科电流表的辅助下，利用钨丝扫描电子显微镜(SEM)观察束流。结合WDS数据，对样品进行能谱分析(EDS)。
同时采集WDS和EDS数据，使用户能够将EDS数据应用于一些较高原子数的样品;但是，在本例中没有这样做。两个探测器的起飞角度为35°，仪器的工作距离为17 mm。这个距离是特定于仪器的，如果扫描电镜室允许，可以更小。
标准测量
在WDS中需要精确的定量标准。在本研究中，碳化物标准为Cr3.C2、碳化硅、铬7C3.， TiC和Fe3.C被利用。样品的EDS和WDS谱图3.C和TiC分别如图1和图2所示。
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图1所示。光谱的铁3.C. WDS数据(上)为C K、Fe L谱线，EDS(下)为C K、Fe L、K谱线。
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图2。TiC的WDS(上)和EDS(下)谱。
硬质合金测量
用等离子喷涂技术对铸铁表面进行了碳涂层分析。碳化物的直径约为2µm，长度约为10µm，采用点模进行测试。图3显示了样品的光谱，WDS系统的选择性和高灵敏度清晰地显示出来。从定量数据出发，利用实测标准计算了碳化物层浓度。表1显示了结果。
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图3。碳化物的WDS(上)谱和EDS(下)谱。
表1。碳化物的定量结果。
| 元素 |
Wt % |
在% |
K-Ratio |
Z |
一个 |
F |
净强度 |
背景强度 |
强度误差 |
P / B |
| C K |
22.68 |
59 |
0.1133 |
1.193 |
0.3706 |
1.0003 |
6238.6 |
228.4 |
3.52 |
27.31 |
| Cr L |
57.52 |
34.56 |
0.415 |
0.959 |
0.6401 |
1.0001 |
10144.47 |
3208.13 |
1．18 |
3.16 |
| 莫L |
19．8 |
6.45 |
0.1874 |
0.851 |
0.9967 |
1.0027 |
466.04 |
132.46 |
4.04 |
3.52 |
| 总计 |
One hundred. |
One hundred. |
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|
|
|
|
|
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LEXS
LEXS经过优化处理低能量微分析。它采用创新的高收集光学(HCO)，记录最大计数率，以最高分辨率提供快速x射线分析。LEXS是专为低能x射线微分析而设计的，分辨率低于20ev, x射线能量低于2.5 keV的峰值背景比高。它适用于克服如N Kα来自Ti Lα和Si Kα来自Ta Ma或W的重叠，计数率足够高，测试速度不是该系统的限制。
结论
配备高性能光学元件的LEXS适用于从Be K到S K的轻元素测试。数据显示了LEXS系统建立钢上碳化物浓度的能力。这无疑表明LEXS是EDS系统的一个独特的补充工具，有助于轻元素的精确测定。
这些信息已经从EDAX公司提供的材料中获得、审查和改编。亚博网站下载
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