使用组合同时采集EDS及EBSD数据卡扫描阶段分化

电子背散射衍射（EBSD）分析模式是理想的检测两者的晶体取向和结构。然而，正确的结构的检测可以是一个困难的任务时存在的晶体结构是相似的。

图1。具有相同或相似的结晶学的组成阶段。

通过结合EBSD测量数据和同时收集的能量色散光谱(EDS)化学成分数据，可以轻松地区分晶体结构，并使用结构和成分数据确定更绝对的相描述。为了对所有的相进行精确的微观结构分析，无论是单独的还是集体的，必须准确地检测组成相。

与现有的解决方案比较

EBSD可用于检测和区分晶体结构存在于多相材料。亚博网站下载下面的缺点可以通过只使用EBSD分化会遇到：

• 具有类似立方晶体结构和衍射平面的组成相产生了相似的平面间角。这使得当索引时只考虑这些角度时，区分是不可能的。
• 在分度时，通过衍射线带宽分析，可以增强具有相同晶体结构的相的分异。然而，这种方法需要精确确定频带边缘，这需要更高分辨率的EBSD模式。由于样品制备伪影和残余塑性变形等外部和内部因素的影响，高分辨率的样品采集需要较长时间，对样品质量的变化非常敏感。
• 具有类似晶体结构的组成阶段能够产生类似的平面间角度，并且识别频带的方式限制了区分这些结构的能力。EBSD模式分辨率和质量再次直接影响相位分化的性能。
• 索引与每个候选晶体结构的每一个点，然后建立最为理想的解决方案的整个任务可能需要的时间显著量的潜在结构的数量增加。

化学索引扫描（CHI-扫描）™提供这些缺点的解决方案通过整合与EBSD测定用EDS定量整个光谱化学数据的结构数据。在每个测量位置候选晶体结构的列表减少到只有那些通过利用同时被收集的EDS数据的测量化学匹配。这种方法具有以下优点：

• 使用同时收集的EDS数据，可以很容易地在化学上区分具有相似或相同晶体结构的组成相(图1）。
• 结构辨别不需要衍射线带宽检测和高分辨率EBSD图案。数据收集使用快速降低分辨率EBSD模式有助于在短时间内获得高质量结果，并且差异化对准备质量或样品变形不如敏感。
• 由于化学过滤减少了每个点上要检查的结构的数量，因此总数据收集时间就减少了。随着现有结构数量的增加，这一点变得极其重要。含有多达12个相的微观结构已经被检查过了。
• 通过对EDS数据的全化学光谱的研究，可以实现组分相的自动测定。由于完整的EDS谱被保存在每个分析点，因此可以在任何时候重建特定的EDS元素图。对于精确的分析，先验知识也是不必要的。

微观分析结果

图2描绘EDS铁和铜的元素分布图，以及一个卡扫描™产生的相位地图铁镍相和铜相和从抛光印刷电路板。在此示例中，电化学沉积来沉积金属互连。

使用EDS光谱信息，存在的相位被检测为KOVAR，铁镍 - 钴合金和铜。这两相是面对立方体的，具有匹配的衍射平面和相同的晶格常数，使常规辨别与EBSD非常困难。EDS元素贴图突出显示阶段的空间分布。CHI-SCAN™使用此数据来选择每个分析点的理想候选结构。确定正确的相位和取向导致进行进一步进行微观结构分析的可能性。

图2。EDS元素映射为铜（顶部）和铁（中心）和用于印刷电路板的金属CHI-扫描相位图（底部）。

图3显示了从Kovar相（右）和铜相（左）的晶粒地图，其中晶粒以随机的方式呈现，以揭示形态和尺寸。铜相表现出双峰晶粒尺寸分布，其含有邻近Kovar界面和远离其的较小颗粒的粒度。这表明沉积过程涉及两种变化的沉积和晶粒生长机制，既活跃。

可伐相呈现更均匀的粒度分布。图4示出了从两个相的晶粒尺寸分布。晶粒错误取向的分析表明，可伐相具有相当大的孪晶（关于相内的晶粒间界的50％），而很少有孪晶界由铜相呈现出（约7％）。这种类型的深入分析是可能只与经卡扫描™提供的精确相位的分化。

图3。EBSD晶粒映射为铜相（左）和科瓦合金相（右）示出了用于铜相双峰晶粒结构。

图4。粒度分布的铜和可伐阶段。

推荐的edax解决方案

用卡扫描™功能飞马分析系统允许工程师和科学家表征多相材料精确的相位分化阶段的映射。亚博网站下载CHI-扫描™能够通过使用总自动化学相位确定EDS EBSD图案分析的过程中的光谱数据，以除去在结构上基于模糊。这种先进的技术提高了最终数据的质量，并降低取收集数据，从而为用户提供快速，精确的微观结构分析的时间。

ChI-Scan™具有应用于半导体、陶瓷、金属和地质多相样品的潜力。在含铜矿石矿物分析、航空航天合金夹杂物分析、稀土磁体中氧化物相鉴定、钢中碳化物分析等方面成功地应用了ChI-Scan技术。ChI-Scan™需要同时收集EBSD和EDS数据，这些数据可以使用EDS探测器的辛烷值系列和Hikari或DigiView EBSD探测器获得。

此信息已被源地，从Edax Inc.提供的材料进行审核和调整亚博网站下载

对于这个源的更多信息，请访问：EDAX公司。