辛烷值SDD系列透射电子显微镜的优点

用于透射电子显微镜的辛烷值SDD系列是由阿波罗XLTW系列探测器发展而来的，目的是提供一系列具有极佳立体角和最大灵敏度的新仪器。该系列具有完善的无窗设计和增强探测器模块外壳。这两个特性允许在给定的显微镜配置中实现最高的实心角度。

图1所示。辛烷值T Ultra的NiO光谱。

窗口的所述支撑结构可以通过去除检测器窗口被消除。通过去除窗支撑结构，该立体角可通过两个近的因子来增强。所述定制模块外壳能够使探测器被定位更靠近样品，最大化几何立体角。TEM的真空环境，非常适合使用一个没有窗户的探测器。有较少的机会，以冷凝水蒸汽冷检测器上（-25℃），和如果需要的话，检测器可以快速温度循环。

用于TEM的辛烷值SDD系列

三种检测器型号可在TEM用辛烷值SDD系列:

• 辛烷Ť的Optima：30或60毫米²活跃的地区。优化的无窗口设计用于与立体角范围高达0.5球面度的特定TEM列。它是圆形的。
• 辛烷值T Plus: 30毫米²活跃的地区。入门级SDD与超薄窗口(SUTW)可安装在所有TEMs。辛烷值T Plus是圆形的。
• 辛烷值T Ultra: 100毫米²活跃的地区。最大灵敏度SDD可用，无窗立体角范围达1.1立体角。T超探测器是椭圆形的。

在敏感性增强

图1说明了辛烷值T Ultra的NiO光谱。NiL / NiK和NiL / O K的比值都非常高。这是因为样品和检测器之间的无窗特性。对N的敏感性也显著提高。聚合物窗口含有大量的C，它选择性地吸收N。当窗口被移除时，更多的N x射线被允许进入探测器。

峰值强度增加

图2示出了从形成SiN 50nm厚的膜的光谱。来自检测器的SiLi光谱是在红色，而没有窗户的辛烷值光谱是绿色。这两种谱是在同一时间直播和束流采购。灵敏度更高的能量线，如植也通过窗户的设计增强。的Si的强度是四倍，并且N的峰值强度为12倍以上。

图2。如果_3.N₄用ST镜头在FEI CM200上采集。

图3示出了无机玻璃薄膜，其特征在于高度由NIST的样品。使用它，定量分析，可以检查或样品可以被用来计算崖-洛里默K因子。图4显示从这个光谱计算的k因子。

图3。由无机玻璃薄膜的频谱特征在于NIST 2063A。

图4。图3为谱的Cliff-Lorimer k因子。

TEAM™EDS原子分辨率漂移校正

的TEAM™EDS原子分辨率漂移校正特别针对TEM数据采集中最具挑战性的样品开发。难点在于保持光束和样品的位置，以从样品中收集正确的数据，这些样品对非常细微的运动很敏感。这种漂移方法需要更快的相关处理和更好的参考图像。

这个过程通过在收集期间应用实际图像作为参考图像，提供了这两种功能，这减少了收集单个参考图像所花费的时间。此外，相关过程使用快速傅里叶变换在集合帧之间即时进行，并在启动下一帧之前进行必要的修改。结果是在正确的位置上最大化图像和元素信号强度，从而生成高分辨率的地图。

甲日立HD2700a STEM与像差校正被用来测试一个的SrTiO_3.样本。条件包括:200 Kv, 100 pa的束流，8000 Kx放大。在256 x 200像素的像素级进行映射。每个像素的驻留时间为150µsec，获取帧数为109。使用TEAM™EDS原子分辨率漂移来校正系统中的漂移。

图5说明了STEM图像和SrL和TiK地图。TiL点和SrL亮点分别与STEM图像的小中心点和亮区对齐。对净强度图像进行图像处理，叠加Ti和Sr，可以得到如图所示的原子位置的清晰图像图6．

图5。SrTiO样本的STEM图像(左上)、SrL映射(右上)和TiK映射(左下)_3.．

图6。显示原子位置的图像，通过对净强度图像进行图像处理并覆盖Sr和Ti而创建。SrL为绿色，TiL为蓝色。

应用程序

应用1：分层膜

科隆大学的DLR研究所使用Optima T Plus探测器测量薄膜层的横截面。这些地图图7在200千伏的Tecnai F-30上获得。实验条件为:屏幕电流3.84 nAmp，电容2:70µm, 7.68 usec Amp时间，8000 cps，显微镜放大倍数为68000倍。多达500帧。

图7。用于层状膜应用的视场。视场为100纳米宽。

图8说明了关键目标元素的叠加图像。(Ga和Pt来自FIB处理，Cu来自网格)。图9说明从上到下的线扫描区域。为了便于解释，它被旋转了90°。

图8。主要感兴趣的元素的叠加。(Cu来自网格，Ga和Pt来自FIB处理)。

图9。甲行扫描从上到下的区域。

应用二：硅化物粒子簇yabo214

图10显示了使用Tecnai F-20在200 Kv下实现的STEM图像。这个簇是由硅化物颗粒组成的。yabo214在推导图的同时，绘制了相图，说明了五个相的存在。蓝色相为Ni硅化物，橙色相为Mn硅化物，黄色相为Si，绿色相为Co硅化物。

这张地图图11达到了128 × 100像素。2万倍是显微镜的放大倍数。如图所示，靠近蓝色相位边缘的较薄区域被测量出来图12．它示出了所述组合物是硅化镍的附近。该区域的厚度是不知道，创造了精确的分析难度。计数率超过20,000厘泊，且总采集时间为5分钟以下。

图10。STEM图像显示硅化物颗粒组成了一个簇。yabo214

图11。显示集群中存在五个阶段的相位图。

图12。对靠近蓝色相边缘的较薄区域的定量。

应用3:纳米粒子线扫描

图13说明了在日立HD-2700专用STEM上获得的图像、光谱和线。石墨上的Pt-Co纳米yabo214颗粒看起来很亮。线扫描是在直径为5 nm的粒子上进行的。阿贡国家实验室的Nestor Zaluzec提供了样本。

图13。纳米粒子的图像、光谱和线扫描。

结论

在最高水平可能在列单探测器辛烷值SDD系列为TEM提供化学评估。辛烷值探测器完成大得多立体角相对于该被取代的的SiLi检测器，并在同一时间对于轻元素提供更高的灵敏度。他们还消除了液态氮。

这些信息已经从EDAX公司提供的材料中获得、审查和改编。亚博网站下载

有关此来源的更多信息，请访问EDAX Inc .)