Zeiss CrossBeam - 使用SmartSem实现智能FIB

由卡尔蔡司显微镜有限公司2016年8月1

SmartFIB是一种用于聚焦离子束(FIB)操作的ZEISS Crossbeam仪器的新用户界面。本文概述了用户界面及其一些功能。SmartSEM是ZEISS扫描电子显微镜(sem)的操作软件，与ZEISS FIB-SEM仪器兼容。SmartFIB是该操作软件的扩展，以直观、简单的方式支持FIB-SEM的所有工作流程。

介绍

蔡司推出了两款新产品FIB-SEM系统2013年8月底。这些仪器被称为ZEISS Crossbeam 340和540，集成了一些关键的技术进步，包括使用最新电子设备的完全翻新的系统平台，完全重新设计的FIB用户界面(UI)，以及高吞吐量100 nA Ga+ FIB列。

如上所述，FIB UI是用于在Zeiss Crossbeam系统中用于FIB控制的SmartSem的扩展。因此，此接口仅在FIB-SEM系统上变为可操作且活动。在下一节中，它将被称为SmartFib，便于方便。本文介绍了SmartFib的关键功能以及它如何使用户日常斐波姆活动活动。

讨论了地区

铣削策略
实时成像
FIB啪嗒啪嗒
先进的推动控制
自动样品准备
样本模式
连续切片成像
Smart FIB接口

本文简要介绍了SmartFIB用户界面。使用SmartFIB，可以定制灵活的铣削策略，在几乎任何可能的模式下获得最优的结果。精密的微调控制和实时铣削的结合，使用户可以在铣削过程中进行干预和交互。用户可以根据简化的三步工作流程轻松设置TEM样品和截面，用于自动制备。另外，SmartFIB的抽样方式有助于暴露长时间无人值守的布局批量。串行切片成像是FIB-SEM的另一种独特的自动化工作流程，可从VOI提供最大数量的数据。

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卡尔蔡司显微镜有限公司。（2019年10月25日）。Zeiss Crossbeam - 使智能FIB与SmartSem合作。Azom。在07年9月7日，2021年从//www.washintong.com/article.aspx?articled=12827中检索。
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卡尔蔡司显微镜有限公司。蔡司横梁-使智能FIB工作与SmartSEM"。AZoM．2021年9月07日。。
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卡尔蔡司显微镜有限公司。蔡司横梁-使智能FIB工作与SmartSEM"。Azom。//www.washintong.com/article.aspx?articled=12827。（107,2021年9月7日）。
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卡尔蔡司显微镜有限公司。2019.Zeiss CrossBeam - 使用SmartSem实现智能FIB．viewed September 21, //www.washintong.com/article.aspx?ArticleID=12827。