用液体颗粒计数测试固体颗粒过滤效率

从流体中除去颗粒被称为过滤。yabo214液体粒子计数器的常见用途是评估过滤器的效率以除去各种尺寸的颗粒。yabo214一些常见用途包括;过滤液，上游/下游过滤器试验和使用点监测的实验室检测。本文专注于所有三种行业在许多行业中使用的entegris Accusizer。

过滤的意义

如前所述，过滤是从流体(液体或空气)中去除固体的机械或物理方法。这是在液体通过过滤介质时实现的，这减少了液体中存在的颗粒数量。yabo214过滤器上游的流体为进料，通过介质的流体称为滤液(图1)。

图1所示。简单过滤

各种过滤介质可供使用，例如滤纸，活性炭，硅藻土和墨盒。由于不同介质具有不同的效率，因此在不同的尺寸范围内，用户必须选择所需颗粒的合适介质。

液压动力系统分离和润滑部件的运动部分。固体颗粒污染会导致磨损，降低效率，缩短部件寿命。在液压过滤器中，系统内循环的颗粒数量是受控制的，以匹配所需的系统可靠性水平。yabo214液压过滤器的测试是液体颗粒计数器的常用用途之一，包括Entegris宾控器。

在微电子工业中，CMP浆液通常在生产和使用过程中过滤。通过使用过滤器，可以从浆料中除去在生产过程中形成的大颗粒以实yabo214现刮伤的晶片。在一些应用期间，过滤器的寿命受到损害，并且在过滤后形成的大颗粒会导致晶片上的缺陷。yabo214根据实际粒子计数而不是占空比或压力，决定改变这些过滤器的确切时间，提高产量并降低过滤费用。

配制成喷墨墨水的颜料通常分散成更小的颗粒尺寸(在50到200纳米之间)，必须使其胶体稳定。颜料颗粒的大小至关重要，因为大的颗粒会堵塞通道和喷嘴，损坏打印头。yabo214大颗粒(> 0.5-1.0µm)含量的控制需要一种对少量大颗粒(分布的尾部yabo214)敏感的技术。

过滤测试

工业过滤器的用户和制造商在设计、制造和选择过程中测试过滤器，以识别与给定应用程序匹配的过滤器。过滤器测试的常用方法之一是使用两个液体粒子计数器传感器(图2)测量过滤器的上游和下游Entegris AccuSizer,客户可以从几种可用的传感器中选择，具体取决于大小和浓度。用于液压流体过滤器测试的常见传感器是LE-400传感器，其范围为0.5-400μm。计数器具有512个分辨率通道，远远超过通常的用户要求。如果需要，还可以在进料传感器中启用自动稀释。

图2。过滤测试站

如ISO 16889中规定的液压过滤器测试的典型数据解释是过滤率（或β比）。

CMP浆料

的AccuSizer在世界各地的实验室和过程中受雇，以监测CMP浆料健康，并优化过滤以最小化表面缺陷。滤波器上游（蓝色）和下游（红色）的归咎粒子计数数据如图3所示。

图3。CMP浆液上游/下游过滤器

喷墨墨水

喷墨用2µm和5µm过滤器过滤的过滤测试结果如图4所示。两种滤膜对小于1µm的颗粒浓度均有改善。yabo214未过滤样品中大于1µm的粒子数超过100,000个/mL，而5µm和2µm的粒子数分别为~70,000yabo214和~20,000个/mL。

图4。喷墨墨水未过滤，过滤量分别为5µm和2µm

结论

Entegris accuizer是一个理想的系统测试过滤器和执行许多过滤效率实验。该传感器基于单粒子光学尺寸(SPOS)，具有最宽的尺寸和浓度范围。

这些信息已经从Entegris提供的材料中获得、审查和改编亚博网站下载

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