主动消振技术

在本次采访中，TMC的Wes Wigglesworth介绍了他们的主动减振系统的技术和应用。

您能向我们的读者简要介绍一下TMC和您所经营的行业吗?

TMC设计和制造先进的主动和无源地板振动消除系统以及磁场取消系统和声学箱。

我们继续领先行业先进的主动，惯性振动消除系统，具有压电驱动器和数字控制器。

我们的被动产品范围从简单的，书桌风格孤立的显微镜台，到几乎任何尺寸的光学台系统。我们也有一个新的主动台式系统，我想谈谈。

TMC产品在光子，半导体制造，材料科学，生命科学，药物发现和纳米技术领域实现超精密研究，测量和制造。亚博网站下载亚博老虎机网登录

我们的产品在我们最先进的垂直综合制造工厂设计和制造，并通过承诺提供卓越的全球服务。

TMC EverStille™K-400台与泰勒汉森轴承测量系统一起使用

主动振动消除系统是如何工作的?

术语“活跃”通常在振动隔离世界中滥用。当TMC谈论主动振动消除（VC）时，我们真正意味着“惯性”主动振动消除。

这意味着隔离系统包括振动，而不是位置传感器，其在闭环反馈系统中连续测量机械振动，并且闭环反馈系统中的致动器，其用与相对的力起到取消测量的振动。

具有自调平高度控制的气动隔振系统不是惯性的“主动”隔振或抵消系统。虽然被动气动系统非常擅长衰减高频(10hz以上)振动，但这实际上是一个质量-弹簧阻尼器作为一个低通滤波器。TMC是该领域的领导者，我们的万向节活塞技术设计到我们的Micro-g系列^®产品。

然而，只有惯性，有源VC系统，将积极地取消源于分离有效载荷的振动或运动，和/或来自支撑隔离器的地板或框架的振动。TMC设计和制造此类活动VC系统，分别称为平行和串行类型。

在并联型主动VC中，传感器-执行器控制回路与弹簧并联;当主动控制系统耦合到有效载荷以抵消有效载荷的运动时，如由一个移动阶段引起的运动时，弹簧可以减弱地板的振动。TMC通过我们的电阻尼器提供了这样的解决方案^®技术。

在串行型主动VC中，传感器-执行器为在系列春天。这是TMC在Stacis中使用的独特串行架构中的方法^®技术，现在在新的帝国技术。只有这种串行型惯性有源VC设计只能提供高度侵略性的低频（低于10 Hz）振动消除。

具体来说，这些独特的技术在低至0.6 Hz至150 Hz的有源带宽下工作，在1hz时提供50%的抵消，在2hz时提供90%的抵消。这是可以实现的，因为有两个关键的设计特点。

首先，活动控制循环与有效载荷分离。这允许我们尽管有有效载荷的共振，但是如果没有需要有效的调谐，重新定期或甚至去调整的情况，则尽可能最大化带宽。

其次，速度型传感器的灵敏度可降至1hz以下，并与高容量执行器相结合，可消除业内无法匹敌的低频振动。

在哪个领域是使用的主动振动消除，为什么需要？

研究人员、设计工程师或设施经理可能需要主动消除振动，因为他们工作的恶劣环境，或因为他们工作的仪器、程序或设备的敏感性-或两者兼有。

通常，精密检测或成像工具天生对振动敏感，通常在内部设计有被动空气隔离器或弹簧。因此，许多精密仪器在底层实验室或相对安静的建筑或开发实验室中实现了高水平的性能。

但是，当安装在半导体厂、研究医院(特别是上层)或高流量材料研究设施时，由于低频环境振动和瞬态事件，无法实现最高的性能和分辨率。亚博网站下载

通常，需要使用具有vertill或Stacis技术的使用点的有源惯性VC平台来支持仪器并实现高分辨率的成像和敏感程序。

我们的客户通常使用扫描探针显微镜(包括原子力显微镜)，扫描和透射电子显微镜，其他带电束仪器，掩模对准工具，晶圆计量，以及光子学，半导体制造，生命科学，亚博老虎机网登录药物发现和纳米技术。

TMC Everstill K-400分离光学显微镜

TMC提供Everstill™K-400。使用这个系统的优点是什么?

Everstill是TMC公司开发的一项新技术。TMC一直被认为是隔振领域的领导者，Everstill是下一代主动惯性消振领域的领导者。该专利技术在紧凑的串行设计中，可在0.7Hz的频率下有效消除振动。

K-400是首个采用Everstill技术的台式系统。在1-10Hz范围内最好的振动消除是研究人员、技术人员和设计师的一个重要优势，他们正在推动他们的小型精密仪器的极限。

K-400非常容易设置和开始使用。只需简单地插上电源线，按下一个按钮就可以打开电源。该装置感应到偏离中心的有效载荷，将顶板调平，并自动关闭所有传感器-执行器控制回路，以启动主动惯性振动消除，所有这些都在几秒钟内完成。

您能否告诉我们的读者了解everstill™K-400的机震型速度传感器如何工作？

自20世纪90年代中期以来，TMC一直在主动VC中使用速度型传感器。由于检波器传感器的灵敏度远低于1Hz，因此可以有效地消除振动。为了达到Everstill提供的强烈衰减，需要一个速度型传感器。

来自绝对速度传感器的信号被放大，然后通过复杂的算法进行处理，然后发送到执行器，以抵消大约0.7 Hz的地板或工作台振动。

您认为如何在市场内提供TMC竞争优势？

请记住，Everstill采用了串行型架构，与我们的Stacis技术非常相似。Stacis在我们的行业中受到高度评价，因为它支持一些最敏感的电子束和离子束为基础的仪器，在世界范围内的半导体晶圆厂和研究设施。在K-400中，我们现在有一个非常类似的解决方案，适用于体积小得多、但仍然非常苛刻的仪器，其封装紧凑且便携。

竞争优势是有两个原因：低频下的振动消除，稳定性。串行型有源系统实现更好的整体隔振，因为有效载荷共振从振动传感器机械过滤。这允许在系统稳定性中没有牺牲的高增益设置。

从Vertill内部的刚性弹簧的增加的稳定性使得临界程序能够更长的持续时间。没有其他商业产品可以提供这样的解决方案。

我们的读者在哪里有关Everstill™技术的更多信息，K-400和TMC在主动振动取消领域的工作？

最好的地方是我们的网站，www.techmfg.com．我们还有应用工程师，可以通过电话联系我们在马州皮博迪的总部，电话是1-800-542-9725。

关于韦斯·维格斯沃斯

Wes Wigglesworth自1997年以来一直任职于TMC，目前是TMC主动振动和噪声消除系统旗舰线的产品经理，包括Stacis, Stacis iX, magnet - netx和新的Everstill。

WES先前在科技行业的应用工程，销售工程和OEM账户管理中持有职位，超过24年。他在MA的塔夫斯大学举办了一家学士学位，哈姆特大学。