非接触式光学分析和表面计量人员在工业和学术界

表面计量研究中,重要的是,实验室仪器操作方便,可以将多个同时测量。这些工具应该是工具,使快速、准确的研究,研究成果可以快速传达给你的同伴的社区。

图1所示。表面计量仪器应工具,使快速和准确的结果。

ζ3 d光学分析器

您可以快速、轻松地学习使用ζ3 d光学分析器;90%的技术可以被理解在不到一个小时。这个工具能够在同一时间执行多个测量迅速,产生有意义的结果。每次扫描的平均时间小于30秒。ζ3 d光学分析器的最大的优势是,它不需要任何维护,消除需要合同,等待维修。

区分研究3 d光学分析器

快速和准确

重要研究工作往往需要工具可以提供快速、准确的3 d成像关键决策的信息,重复实验,再造设计。与传统分析工具需要几天甚至几周时间来获取结果,泽塔Tencor 3 d光学分析器提供了在几分钟之内,帮助在数小时内完成迭代结果。这台仪器可以直接扫描样品没有任何样品制备。ZDot技术能够处理表面无需水平的最具挑战性的阶段或找到焦点。

不只是一个漂亮的图片

产生的图像ζTencor 3 d光学分析器是迷人的和准备出版。这些图像意义立即编辑和评论员,使研究结果清晰、更相关。整个表面计量故事随着数据被一个形象,发布为封面提供足够的细节。

多模技术用于多个应用程序

当处理一个有限的预算,购买每个主要仪器是显著的。在这样的限制,重要的是要购买最好的表面计量工具可用。甚至nanoscale-level表面测量可以使用ζ3 d光学分析器,像一个干涉仪。几乎90%的研究表面计量的要求可以满足3 d计量(ZDot)技术。ζ的功能可以扩展到Nomarski成像(珠海),垂直扫描干涉法(ZX5 / ZX100),膜厚度测量(ZFT),剪切interferometery (ZSI),暗场成像,自动缺陷检测(AOI)和缺陷标记使用钻石抄写员。测量不同的样本大小和角度与泽塔分析器是可能的。软件分析或硬件设计也可以定制ζ3 d光学分析器。ζ的一些应用3 d分析器是图2所示,3和4。

图2。对CMP Poly-urethane表面

图3。微的药

图4。RGB像素成像在一个手机

Zeta-20

的Zeta-20 3 d分析器是一种非接触式光学分析器测量复杂的表面。分析器是结合计量显微镜(图5)世界级的研发机构和大学进行研究工作。基于专利ZDot垂直扫描机制是实现非接触式三维成像和测量系统测量复杂的表面与低对比度等属性,透明,混合材料、高粗糙度、反射率很高,或者非常低的反射率。亚博网站下载

图5。测量显微镜

Zeta-20的独特的光学设计提供了一个非常高的光吞吐量使10 nm的高分辨率显微镜与标准的目标。这样的决议不能通过典型的垂直扫描显微镜。

集成系统,结合彩色CCD相机和高亮度白光LED使地形和真彩色的测量表面在同一时间。Zeta-20光学测量Angstrom-level分析器是正确的选择步骤或粗糙度,或膜厚度在纳米尺度。

的多模光纤架构Zeta-20光学分析器提供了扩展其使用的灵活性interferometery (ZX5 ZSI) Normarski成像(珠海)和光谱反射计(ZFT),根据研究的需要。

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