等离子体质量和能谱的时间分辨测量

由希登分析2015年8月11日

在等离子体反应器中，直接测量质量识别正离子和负离子向目标表面移动的质谱和能量分布，可以获得有价值的信息。在大多数情况下，这些测量是时间平均分布，包括当脉冲功率应用于等离子体时。

时间分辨分析

在脉冲等离子体的起始和衰变过程中，有时间分辨的数据是很有用的。为了进行这种分析，将多通道标量(MCS)设备集成到Hiden EQP仪器的离子探测器系统中(图1)。

MCS可以用作探测器，用于光束斩波器入口的时间分辨分析、离子飞行时间测量和等离子体点火/调制/消光分析。

Hiden EQP的典型操作配置

图1所示。Hiden EQP的典型操作配置

隐藏的内部监控设备顺序引导质量分辨离子束探测器的输出到一个计数通道(箱)，以便通过确定通道时间内到达探测器的离子数量，实现对感兴趣的离子的高速时间分辨分析。

它可以用于跟踪高速变化，并从外部事件获取时间解析数据，而无需使用任何外部设备。app亚博体育由于它可以与MASsoft的扫描发生器同步操作，它可以用于收集其中一个轴是时间的数据面。一个例子是调制等离子体中离子的能量-时间表面。

等离子体的数据获得平行板反应器运行使用氩作为测试气体从25 khz AC电源供应或从一个射频供应13.6 mhz重复的利用方波信封从约500赫兹频率信号发生器操作提出了这里作为例子来演示的新功能希登EQP乐器。

对基于“增大化现实”技术⁺在20kHz等离子体中，离子在50mTorr压力下，能量分布的典型变化如图2所示。能量扫描每隔200nsec进行一次。采用氩气作为测试气体的门控射频等离子体的离子能量分布更为有序。

20kHz 50mTorr等离子体中Ar+的典型时间分辨数据

图2。典型的Ar时间分辨数据⁺在20kHz 50mTorr等离子体中

图3显示了IED扫描Ar的一个特征家族⁺在35mTorr压力下对25W等离子体的离子，特别是在等离子体建立时迅速衰减的高能离子到达EQP的取样口。

RF 13.6 MHz 35mTorr等离子体中Ar+离子的典型时间分辨数据

图3。典型的Ar时间分辨数据⁺射频13.6 MHz 35mTorr等离子体中的离子

在这个实验中多渠道标量设备与Hiden EQP仪器的离子探测系统耦合。所用的时间分辨率为50ns。结果显示了离子能谱的起始和衰减特征，这是其他时间平均数据不可能获得的。

这些信息已经从Hiden Analytical提供的材料中获得，审查和改编。亚博网站下载

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美国心理学协会
针孔分析。(2020年11月02)。等离子体质量和能谱的时间分辨测量。AZoM。于2021年9月30日从//www.washintong.com/article.aspx?ArticleID=12242检索。
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针孔分析。等离子体质量和能谱的时间分辨测量。AZoM．2021年9月30日。< //www.washintong.com/article.aspx?ArticleID=12242 >。
芝加哥
针孔分析。等离子体质量和能谱的时间分辨测量。AZoM。//www.washintong.com/article.aspx?ArticleID=12242。(2021年9月30日生效)。
哈佛大学
希登分析》2020。等离子体质量和能谱的时间分辨测量．viewed September 30, //www.washintong.com/article.aspx?ArticleID=12242。