ZDOT联系人轮廓技术和应用

接触轮廓测量可能是用于通过物理地与表面或表面力接触来测量材料表面粗糙度之一的技术之一。

配备金刚石探针的触控式轮廓仪是最常见的接触式轮廓仪。原子力显微镜(AFM)使用相同的概念进行操作，但规模要小得多。

在进行的系统和过程中，可以在不具有与材料表面接触的情况下进行测量的新型测量技术。Zeta-20光学分析器是KLA的创新系统，具有ZDot™技术。Zeta-20光学分析器的多用途、卓越的拥有成本和速度使其成为传统手写分析器在各种应用中的理想替代品。

手写笔分析器，AFM和ZDOT™技术的比较

下表比较了ZDot™技术与触控笔分析器和AFM的性能:

测量	手写笔分析器	AFM	ZDot™
线扫描粗糙度	是的	是的	是的
线扫描台阶高度	是的	是的	是的
基于面积的粗糙度和阶梯高度	慢（必须组合多个线扫描）	慢（必须组合多个线扫描）	快速地
大面积测量	慢点，几分钟到几小时	没有	快,秒
薄膜厚度测量	需要胶片边缘	需要胶片边缘	透明电影的选择;不需要边缘
埋藏表面的特征	没有	没有	是（如果顶层是透明的）
真彩色orfalse颜色	假彩色	假彩色	真假
同时2D和3D分析	没有	没有	是（横截面+区域粗糙度）
方法和局限性
接触(样品是否被探针“接触”?)	接触	接触	非接触式 非破坏性
由于探针的大小造成的伪数据(错误读数)?	是的，触控笔形状和大小会影响测量;了解样本，提示和一些 识别人工制品需要经验。		没有Probeartifacts（没有探针）
大步长能力(> 150µm)	没有	没有	是的
拥有成本
买东西买？	是的，定期更换昂贵的钻石手写笔探头	是的，非常频繁地更换AFM探针头	没有耗材
终止运营商？	没有	是的	没有
校准频率？	由于尖端的变化，经常校准	由于尖端的变化，经常校准	没有一个
Totalcost所有权的	中等到高	中等到高	低

泽塔-20光学轮廓仪具有标准目标，固定在一个标准炮塔，为用户提供无尽的定制选项。第三方供应商提供了各种附件，包括AFMs(图1)。

客户推荐

我们几乎每天使用KLA，并依赖于它来快速测量和样本表征。它非常适合我们的需求。KLA愿意自定义愿意留下深刻的印象。我们有一个独特的需求，他们有机会跳起来让它为我们工作。我们对我们收到的客户服务水平印象深刻。

Rebecca Krone Kramer博士，美国普渡大学助理教授

图1。AFM附件可从多个供应商

Zeta-20光学分析仪的其他配件包括：

• 用金刚石划线来标记缺陷
• 外部暗场照明
• 有暗场照明的边缘检查夹具
• 通过透射照明
• 旋转头选项

的应用Zeta-20光学分析器

下面给出Zeta-20光学分析仪的主要应用：

• 与不提供有关埋地层信息的手写笔分析器不同，Zeta-20光学分析仪可以表征下部胶片和下层（图2）。
• 探针可能需要更长的时间来表征大面积，并且它们的尖端形状可以在扫描期间变化，导致测量不准确。Zeta-20光学分析仪允许快速大面积扫描（图3）。
• Zeta-20光学轮廓仪显示真实的薄膜颜色(图4)。粗糙的表面不是一个问题，没有磨损或更换，因为没有手写笔
• 与探针不同，ZDot™技术能够在迷迭香叶中成像芳香油滴(图5)。

图2。在材料表面下面的层测量

图3。大面积的测量

图4。Zeta-20光学分析器展示真实的电影色彩。

图5。ZDOT™技术可以通过迷迭香叶片图像，显示芳香油滴。

结论

利用ZDOT™光学分析技术，共聚焦显微镜的概念随着真彩色成像的额外优点而延长。它允许放松成像复杂表面，并为高亮度LED，微流体，太阳能电池，高级半导体包装和其他几个部门进行挑战生产和研发应用所需的特殊计量能力。

该信息已从KLA公司提供的材料中获取、审查和改编。亚博网站下载

有关此来源的更多信息，请访问解放军的公司。