多年来，已在许多应用中使用自动化的SEM基粒子和特征分析，例如技术清洁度分析和枪支残留分析。通过粒子基础对粒子的化学和形态学信息的组合有助于更好地了解颗粒样品的性质，包括颗粒的起源及其在分析过程中的过程中的贡献。yabo214
aztecfeature.，来自牛津仪器的粒子分析的先进SEM软件解决方案，提供了改进的用户体验，提高速度和高精度。
本文在地质，发动机磨损监测和空气清洁和污染的背景下考虑了AZTecfeature。它还讨论了Aztecfeature如何以及EDS探测器硬件的新发展，使其成为从业者和研究人员的令人信服的主张。
SEM中的粒子分析
粒子分析的过程如下：
- 记录视场的电子图像，并使用灰度阈值从背景中检测粒子。yabo214在某些情况下，用于所有颗粒的单个阈值，而在其他情况下，在其他情况下，用于区分不同类型的颗粒的多个阈值。yabo214
- 从每个颗粒记录化学和形态学信息。
- 通过施加“yabo214分类方案”，使用形态学和化学数据进行分组。
aztecfeature方法
与牛津仪器的AZTEC完全集成®微分析套件，AZTecFeature在SEM中带来了多种进展至粒子分析。它利用Aztec的性能和易用性和X-Max的准确性和速度N硅漂移探测器。
aztecfeature结合了Aztec的Tru-Q的好处®量化大面积SDD和64位处理，并通过导向工作流快速，准确地获得粒子数据，以便易于使用。即时反馈是实时给出的，因为粒子形态立即确定为灰度级别阈值，因此快速简单地进行优化。
最多四个x-maxN具有600mm的检测面积的SDD器件2可以利用以高计数率获得X射线，允许在自动大面积期间进行最高的吞吐量和短获取时间，从而在学习无数颗粒的情况下。yabo214从所有颗粒实现的光谱都经受AZTEC的数据处理。yabo214
TRU-Q算法对脉冲堆叠和背景效果进行了整流，并进行峰值重叠折叠卷积。这确保了从每个单独的粒子中实现了准确量化的信息。以下案例研究描述了这些发展。
在一个场地上的微粒地质样品实时设置和从大面积获取
随着每个颗粒可包括许多晶粒，每个颗粒是复杂的颗粒状样品，每个颗粒不同的矿物相如图1所示。
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图1。自身映射显示复杂的矿物颗粒。
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穿碎片 - 从大面积地图中提取粒子数据
映射通常用于样本的手动和探索性分析。在...的帮助下aztecfeature.，可以通过存储和处理大面积X射线图来生产虚拟样本。在该示例中，从先前获取的离线系统上获取的映射数据集获得粒子数据，并且收集所有粒子的化学和形态数据，而不需要额外的实时采集。yabo214
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图2。从提取粒子数据的12个字段中创建的大面积蒙格广坞地图。
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空yabo214气过滤器上的颗粒 - 低kV分析，具有多个x-maxNSDDS.
当空气传播的颗粒作为污染物逸出yabo214到大气中时，它们可以证明对人类健康危险。结果，关于在空气过滤器上收集的颗粒的形态和化学的更好理解是重要的。yabo214
存在于该样yabo214品中的颗粒主要是金属组合物中，坐在易受梁损伤的聚碳酸酯过滤器上。颗粒在30yabo2140nm之间的尺寸与多个颗粒的聚集体相差，其含量为几μm。对于较小的最小粒径，必须利用较低的加速电压，使得具有样品的电子束的相互作用体积最小化。
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图3。在20kV（顶部）和10kV（底部）的空气过滤器上的空气过滤器上的背散射电子图像yabo214。在10 kV下实现更好的图像分辨率（更清晰，较少的模糊图像）。能够更准确地测量粒子形态。
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结论
作为灵活的粒子分析工具，aztecfeature.使粒子分析简单而简单。通过利用64位计算功率，最多四个x-maxNSDDS，这种SEM软件解决方案能够快速获取化学信息并进行处理，从而使大面积的检查容易有效地进行成千上万的颗粒。yabo214
此外，TRU-Q算法确保即使以最高计数也是持续的数据质量。分类设置和辅助灰度级别阈值使这些复杂的步骤简单。
在这些步骤期间给出的即时反馈允许用户遵守其更改的影响，从而使它们能够更快且容易地达到优化的分类/设置。
此信息已被采购，从牛津仪器纳米分析提供的材料提供和调整。亚博网站下载
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