自动步检测功能DektakXT表面分析器

DektakXT笔分析器提供准确的阶梯高度测量从几个纳米到数百微米,与重复性7.5埃。独特的一步检测功能是现在包含在所有DektakXT表面分析器自动定位和高度测量单个或多个步骤。一步检测特别有用在进行重复测量的应用程序中,如样品。

本文解释了如何使用自动一步检测快速、可重复的阶梯高度测量。

自动检测步

大多数笔分析器需要操作员手动设置测量位置和参数对个人一步measurements-a重复性较低的耗时的操作。

DektakXT一步检测允许设置参数自动水平扫描数据,检测多个步骤,并测量他们的高度,如图1所示。正确地测量这些参数确保每一步高度无论开始点和结束点的扫描,以及扫描之间没有操作员的干预。

图1。多个步骤自动测量与检测软件。发现边缘显示为绿点。

一步检测是如何工作的

步检测算法遵循这些步骤:

1. 测量。
2. 对数据进行平滑,根据您的设置被夷为平地。
3. 每一步检测和测量基于您的设置。

平滑,光标位置和步骤描述的设置极大地影响算法定位的步骤。小心的设置会导致最准确的步骤检测和分析计算。

设置步骤检测

图2显示了一个典型的跨表面扫描步骤大约1µm高到700年µm宽。样品略有倾斜,大约60上下表面的粗糙度。一步将自动检测水平和光滑的这些数据获得准确的阶梯高度测量。

图2。典型的原始扫描的一个步骤。

测量步骤,开始通过一个示例的扫描特性(s)来衡量。从这个扫描可以确定正确的扫描长度、垂直测量范围,唱针力和所需的数据点数量达到期望的水平分辨率。

了解这些正确的价值观,扫描步骤(s)。

接下来,选择分析>步骤检测屏幕打开步骤检测参数。你也可以右击在情节概要或扫描总结屏幕。一般Settings选项卡(图3)包括整个扫描参数和数据调平。每一步,第一步选项卡(图4和图5)显示参数定义有效的步骤,并确定参数报告。

图3。一步检测一般设置。自动调平参数设置(右)。

图4。每一步的设置。

图5。第一步设置

一般设置

1. 检测方法。对于大多数应用程序,每一步法,自动检测和测量扫描长度内的每一步。第一步法只能测量遇到的第一步。
2. 探测范围确定的部分扫描分析有效的步骤。在图3中,只有第一个2000µm扫描,感兴趣的特性所在,将分析。
3. 检查自动找平水平扫描数据前一步分析。R和M游标参数定义游标的位置相对于第一个发现边缘(不一定是一个步骤),边缘的距离,和宽度,按图4所示。这些游标设置仅适用于为水准,而不是数据分析。通常R光标放置在第一个边缘,和M光标沿着边缘。
4. 检查启用步骤检测,然后单击Apply来分析当前数据集。屏幕将更新为当前数据分析显示步骤。
5. 检查保存更改扫描程序来执行步骤检测,与当前设置,每次使用当前的扫描程序。

每一步的设置

单击每一步选项卡设置以下参数:

1. 平滑决定相邻数据点之间的最小斜率变化将被视为一个“边缘”。A smaller Smoothing value increases sensitivity to smaller steps; a larger value filters noise to limit analysis to distinct, welldefined steps.
2. 山庄Min和Max一步一步检测算法把光标放在每个发现的“边缘”,基于分析功能中的光标设置框(下图)。如果这些游标之间的灰落在这些最小和最大价值,边缘会被认为是一个有效的步骤。
3. “+步骤”和“步骤”让您选择是否积极步骤(参考以上)和/或负(参考以下)将被分析的步骤。
4. 分析函数定义哪些分析参数将报告为每个有效的步骤。复选框的每个分析应该报道。设置距离一步R和M游标,相对于前沿的一步。注意,每个分析可以有自己的光标位置。平均阶梯高度(灰)的计算,还可以设置光标宽度来确定平均多少扫描数据将在顶部和底部的每一个步骤。
5. 检查计算平均报告每个选定参数的平均值在所有有效的步骤。这个特性对于描述尤其有用的深处V-grooves或凸起的高度在一个数组,以及传统的一步高度。

第一步设置

有时你可能想要使用多个单个步骤分析组光标的位置。在这种情况下,你将检查第一步法下一般设置,然后单击选项卡来设置这些参数:第一步

1. 平滑决定相邻数据点之间的最小斜率变化将被视为一个“边缘”。A smaller Smoothing value increases sensitivity to smaller steps; a larger value filters noise to limit analysis to distinct, well-defined steps.
2. 步骤描述定义了预期的高度和宽度的一个有效的步骤,在给定的公差。
3. 距离一步和频带宽度设置的位置和宽度分析R和M游标,相对于前沿的一步。
4. “+步骤”和“步骤”让您选择是否积极步骤(参考以上)或负面(参考以下)进行分析。
5. 分析函数定义哪些分析参数将报告为每个有效的步骤。集R和M游标的位置相对于前沿的一步。对每个分析十套可以定义游标位置和宽度在不同距离分析步骤。
6. 检查计算平均报告每个选定参数的平均值在所有的游标。

一旦你进入所有的参数,单击Apply或好的显示测量参数为每个有效步骤(图6)。

图6。扫描配置文件后一步检测。平滑后的黄线显示了数据。

图6显示了数据后,从图2步骤检测分析。扫描配置文件被夷为平地,已经检测到步,平均阶梯高度(灰)计算。

自动测量步是一个有价值的工具,用于确定单个和多个步骤的高度或深度在晶片或衬底。测量程序步骤序列能够很大程度上减少了测量时间以及操作员地变化。只有DektakXT笔分析器为快速提供这种独特的能力,准确的阶梯高度评价。

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