理解质量流量计和质量流量控制器规范

规格表中提供的信息量为质量流量计和质量流量控制器对用户来说可能有点压倒性的,特别是如果他们不熟悉的术语。的一些关键质量流量计和质量流量控制器的规格都包含在这篇文章。

精度

精度的精确流量设备执行在不同的流量范围。它通常表示为阅读或全面的百分比流的百分比。错误的比例获得全面的乘法误差百分率全面流。设备错误描述为满量程的百分比在满刻度时提供最精确的测量流动。

错误描述为一个百分比的阅读状态误差的比例的流量计是流动的。如果一个设备的准确性是评价+ / -1%的阅读,然后设备将准确+ /不管它是流动的-1%。100 slpm,设备将在+ / - 1 slpm准确,并在+ / - -0.1 slpm 10 slpm流动单元。

准确性,无论测量技术,通常依赖于操作条件,如温度和压力的气体流经设备。

制造商将定义的错误率设备根据特定组预定义的操作条件,一般标准温度和压力。因此,单位的准确性可以大幅改变气体压力和/或温度不能满足这些参数指定的制造商。

一些设备,如来自Alicat内部补偿,这意味着传感器内部的仪器测量压力和温度条件和执行实时修正不同气体条件。因此,用户不用担心保持恒定的工艺条件。

调节比

调节比描述流设备的可用范围,定义为最大的流量和最小流量之间的比率。

从本质上讲,这是最少的流体测量的设备,显示设备的多少范围能产生准确的读数。这是至关重要的在更广泛的流的测量和控制的要求不断变化的设备。

可重复性

重复性的测量能力流装置精确重复流的功能。设备的重复性测量通常是通过监测其特定流量读数,阻止允许设备在特定的时间归零,然后恢复相同的流。

设备的可重复性,建立了通过监测原始流之间的差异阅读和阅读之后停止和恢复流程。简单,重复性是指设备的能力产生相同的阅读在同一流量。

压降

压力压降损失被定义为由于流体粒子之间的摩擦和管道的墙壁当流体通过一个通道或管道。yabo214压降大约是流体旅行的距离成正比,影响流体接触的每个组件,如每一个弯,每个管壁,每一个配件。

自从影响流体流动的压降,这是至关重要的,以确保组件产生的压降可能最少。

预热时间

预热时间被定义为一个设备所需的时间成为稳定使用。热量单位可能有长时间的热身时间。

一些设备可能需要30分钟内成为稳定2% fs。加热时间是一个关键的规范如果设备关闭的最后一天。

零转移或抵消误差

零转移或抵消转变(图1)描述了如何远离零流设备时将温度和/或压力的变化。校准曲线的斜率不会抵消误差,影响整个流量范围是相同的。抵消误差以% FS(或%阅读)/临时的变化程度(或psi压力)的变化。一般来说,校准是抵消的百分比误差每psi或改变程度的温度。

图1所示。零的转变

转变或跨错误

跨度转变或跨度错误(图2)描述了校准曲线的斜率的变化没有改变零。在不同的流量范围,流设备的校准曲线会影响不同。跨度误差以% FS(或%阅读)/临时的变化程度(或psi压力)的变化。

实际上,校准是抵消的百分比误差每psi或改变度温度的变化。零转移或跨度变化也可以被描述为“温度系数”或“压力系数”,可以以同样的方式。

图2。跨度的转变

死区

死区(图3)描述了信号的区域范围或乐队中不采取行动,即。乐队,系统已经死了。有关一个压力开关,死区是乐队之间重置与切换开关的旅行。

图3。死区

这些信息已经采购,审核并改编自Alicat科学提供的材料。亚博网站下载

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